退火爐用於大型積體電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，其關鍵部件全部採用進口部件，仿國外先進熱處理製造技術，已經被中科院、國內各大院校、國內多家廠家選爲長期供貨商，可根據客戶不同需求定製，廠家直接供貨。

 

主要技術參數                            

工藝管數量：可根據客戶需求製作爲1-4管

工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）

結構型式：臥式熱壁型或立式

工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

氣體流量設定精度:±1％F.S

氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

工作溫度範圍：400～1280℃

恆溫區長度及精度±0.5℃/1080mm

超淨工作臺：淨化等級：100級（萬級廠房）

         噪音：≤62dB（A）

       震動：≤3μm

控制方式： 工業微機控制

記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制

 

我公司可根據客戶需求個性化專業定製實驗室科研退火爐、管式退火爐，管式真空退火爐、管式擴散爐、管式燒結爐、管式合金爐等高溫電爐，廠家直接供貨，歡迎廣大用戶來電諮詢。