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產品簡介 »
超純氦氣凈化器是採用新型貴金屬合金凈化劑，與各種活性氣體反應形成穩定的化合物或固溶體，使氣體達到目的凈化的目的。 產品氣流量：1-3000Nm3／h 產品純度：＞99.99999％ 特點：本產品可現場再生，材料選用不銹鋼拋光材料，處理精度高，流量大，壽命10年以上，經過凈化後的氣體可達到ppb級凈化。 適用範圍：微電子、半導體工業、半導體工藝設備、氣體分析、研發。
