多晶硅鑄錠爐

產品簡介 »

　　石英爐缸的外部尺寸：
　　長度：720mm
　　寬度：720mm
　　高度：420mm
　　最大硅荷載（取決於硅片的大小）300Kg
　　
　　5.2熱參數
　　最高溫度：1550℃
　　頂部區域：50kW
　　側面上段區域：50kW
　　側面下段區域：50kW
　　總計：150KW

　　5.3可預見的公用設施
　　電源：400V 50Hz
　　總電源量：170KVA
　　壓縮空氣：壓力  最低6巴
　　氣體：氬　3巴
　　加快冷卻（顧客選擇）：氦3巴
　　冷卻水　
　　入口壓力：3巴
　　流速：21Nm³／h