EVG半自動解鍵合設備臨時鍵合分離機EVG805DB
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“EVG半自動解鍵合設備臨時鍵合分離機EVG805DB”參數說明
是否有現貨: | 否 | 認證: | 是 |
品牌: | EVG | 加工定製: | 是 |
形式: | 電動 | 電源電壓: | 380V |
送料形式: | 半自動 | 腳長: | 0 |
加工量: | 10% | 外形尺寸: | 100X100X100CM |
重量: | 50KG | 型號: | EVG805DB |
規格: | 111 | 商標: | EVG |
包裝: | 木質包裝 | 運輸方式: | 海運/空運 |
付款方式: | L/C |
“EVG半自動解鍵合設備臨時鍵合分離機EVG805DB”詳細介紹
EVG半自動解鍵合設備臨時鍵合分離機EVG805DB EVG805DB是一款半自動的解鍵合設備,用於將已加工完成的薄器件片從矽、藍寶石或其他材料的承載片 離。根據臨時鍵閤中間材質的不同,可使用不同的分離方法,如熱解、滑移,剝離,紫外活化等。EVG805DB還可以匹配EVG 的技術模組EZD,使矽片可以在室溫下解鍵合。 二、應用範圍 EVG805DB是一款主要用於薄基片加工領域鍵合分離設備。廣泛應用於記憶體,CMOS,3D-TSV,功率器件(如IGBTs),化合物半導體(如高亮度LEDs或RF功率放大器),以及其他新型需要薄片加工的領域(如MEMS,RFID-tags,柔性顯示器等)。 三、主要特點 半自動工工藝處理 功能表控制 工藝參數實時監控 不同的卡盤設計用以支持不同規格的基片( 300mm) 單獨薄載片用以承接分離的器件基片 不同的解鍵合方法: 滑開,掀開,edge zone debond (EZD? ), UV 輔助分離
北京亞科晨旭科技有限公司
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