圓形矽靶材-矩形矽靶材-矽旋轉靶材-矽管靶
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產品詳情
“圓形矽靶材-矩形矽靶材-矽旋轉靶材-矽管靶”參數說明
| 是否有現貨： | 否 | 認證： | ISO9001 |
| 用途： | 薄膜太陽能工業，低輻射玻璃工業，平板顯示 | 類型： | 矽靶材 |
| 行業： | 濺射鍍膜 | 型號： | 多種型號 |
| 規格： | 多種規格 | 商標： | AEM |
| 包裝： | 小件真空袋包裝，外紙箱包裝 |
“圓形矽靶材-矩形矽靶材-矽旋轉靶材-矽管靶”詳細介紹
矽靶材
單晶矽靶材、多晶矽靶材、噴塗矽管靶
純度：99.9-99.999%
矽靶材尺寸：
● 尺寸01：直徑<360mm 厚度>1mm （形狀：圓片/圓臺/圓棒）；
● 尺寸02：長度<600mm 寬度<400mm 厚度>1mm；形狀：矩形/片材/臺階狀(可拼接）；
● 尺寸03：外直徑<360mm，內直徑>1mm，壁度>1mm，長度>1mm， 長4000mm（形狀：管材/圓環/旋轉靶材）；
製作工藝
真空磁懸浮熔鍊 ，澆鑄成錠，熱機械處理和精密機械加工；也可矽旋轉靶採用等離子噴塗或者燒結綁定工藝，矽平面靶採用拉晶生長工藝。
應用領域：薄膜太陽能工業，低輻射玻璃工業，平板顯示工業，光學鍍膜工業，半導體工業，工具及裝飾鍍膜工業。
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