GWE-全自動矽片邊緣缺陷檢測設備
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產品詳情
“GWE-全自動矽片邊緣缺陷檢測設備”參數說明
型號: | Gwe | 商標: | 無 |
“GWE-全自動矽片邊緣缺陷檢測設備”詳細介紹
GWE-全自動矽片邊緣缺陷檢測設備基本介紹
可對應300mm矽片的邊緣的缺陷檢測。
【邊緣檢測】:對矽片外周(Bevel)進行非接觸式高速檢測。畫像處理根據預先設定的參數條件自動提取各種缺陷,並判定是否合格。
【邊緣檢測】:對矽片外周(Bevel)進行非接觸式高速檢測。畫像處理根據預先設定的參數條件自動提取各種缺陷,並判定是否合格。
GWE-全自動矽片邊緣缺陷檢測設備性能特點
【缺陷種類】:邊緣部:scratch,chip ; V-notch:scratch,chip
【生產能力】:根據缺陷種類不同每片檢測只需20S。
【功能表功能】:可編輯檢測功能表,並進行參數儲存與導出。
【檢測範圍】:邊緣,V-notch
【檢測對象】:12寸拋光片
【缺陷種類】:邊緣部:scratch,chip ; V-notch:scratch,chip
【生產能力】:根據缺陷種類不同每片檢測只需20S。
【功能表功能】:可編輯檢測功能表,並進行參數儲存與導出。
【檢測範圍】:邊緣,V-notch
【檢測對象】:12寸拋光片
WE-全自動矽片邊緣缺陷檢測設備採購須知
具體面議
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