一、設備概要：
-600S 是半自動通用拋光型設備，不僅可以處理氧化層和金屬膜，而且可以去除晶圓表面損傷層。該機型裝備有兩個拋光頭和一個定盤修正頭，可實現高的吞吐量。它具有獨特的軟體和觸摸屏，使用操作方便。

二、設備構成：
1. 拋光頭：
   一個定盤，兩個拋光頭同時工作，可實現高的吞吐量；
   可獨立編程（包括轉速）並單獨控制每個拋光頭；
   夾緊機構爲真空吸附固定或利用晶圓表面張力進行固定；
   裝備有保護圈以保證均勻性和邊緣輪廓；
    拋光壓力基於實時監控；
    具有擺動功能；
2. 定盤：
   水冷系統可保證穩定運行
3. 修整主軸：
   裝有專用修整頭；
   修整壓力靠頭的自重；
4. 外殼：
  全密封；
    互鎖門；
5. 觸摸屏：
9.5 寸全綵屏；
GUI 操作面板；
4 級程序控制；
6. 供液單元：
   使用羅拉泵可實現穩定供液。

三、設備指標：
1. 適用晶圓尺寸厚度晶圓尺寸： 3 - 8 英寸
2. 設備尺寸及重量尺寸： 1380 (W) x 1210 (D)*x 1873 (H)
3. 廠務條件電力要求： 10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz
壓縮空氣壓力： ≧5.0 Kg/cm2
去離子水壓力： 1.0-1.5Kg/cm2
去離子水流量： 5 升/分鐘
排氣量： 3m3/分鐘
冷卻水（真空泵用）： 壓力：2.0Kg/cm2
流量：大於3 升/分鐘
冷卻水（拋光定盤冷
卻系統用）：
壓力：2.0Kg/cm2
流量：大於3 升/分鐘