真空快速退火爐 4吋樣品 半導體真空退火
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產品詳情
“真空快速退火爐 4吋樣品 半導體真空退火”參數說明
別名: | 快速退火爐 | 是否有現貨: | 否 |
品牌: | 嘉儀通 | 用途: | 晶圓、半導體器件快速退火 |
自動化程度: | 半自動 | 是否加工定製: | 是 |
電流: | 交流 | 型號: | Rtp-3-04 |
規格: | 臺 | 商標: | 嘉儀通 |
包裝: | 有包裝 | 產量: | 120 |
“真空快速退火爐 4吋樣品 半導體真空退火”詳細介紹
武漢嘉儀通科技有限公司成立於2009年,是一家技術自主創新的國家新技術企業。公司集快速退火爐研發、市場和技術 於一體的真空快速退火爐廠家。
本公司生產銷售的真空快速退火爐覆蓋1-12吋樣品測試,分爲科研與產線兩種應用場景類型共8款機型。
真空快速退火爐產品特點:
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s,特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s。
精確控溫: 採用工業級溫控器進行PID精確控溫,目標溫度與設定溫度曲線一致性高,可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等)。同時,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,真空度可達10-3Pa。
配備觀察窗口: 通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時,可以結合相關測試方法進行原位測試分析。
係數: 採用爐壁超溫報 系統和冷卻水流量報 系統,多方位保障儀器使用安全。
真空快速退火爐廠家:擁有技術和製造能力,能快速反應客戶售後需求。
真空快速退火爐技術參數:
型號 |
1-12英寸系列 |
溫度 |
1200℃ |
升溫速率 |
50℃/s |
溫度均勻性 |
≦1%設定溫度 |
溫度控制 |
選用工業級溫控器,控溫精度±0.1℃ |
溫度感測器 |
標準K型熱電偶 |
降溫速率 |
1200℃→400℃,200℃/min 400℃→100℃,20℃/min (自然冷卻) |
樣品尺寸 |
1-12英寸樣品 |
公司的快速退火爐 於的大學有:清華大學、復旦大學、南京大學、浙江大學等大學;
的重要科研院所:中科院微電子所、半導體所、微系統所、綿陽九院等;
的半導體企業有:華爲海思、三安光電、敏而精密、澤達等等頭部半導體企業等等。
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