勻膠機(英文名：Spin Coater)適合半導體矽片的勻膠鍍膜詳細介紹：勻膠機(英文名：Spin Coater&Spin Processor) 行業俗稱：勻膠臺、勻膠機、旋塗儀、塗膠機、鍍膜機、甩膠機1、勻膠機工作原理：勻膠機（spin coater）的工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的塗在基片上，勻膠機常用於各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜製作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯係數而不同，也和旋轉速度及時間有關。2、勻膠機型號及技術參數如下： 型號 SPIN150i SPIN200i POLOS300 POLOS450 POLOS600 基片範圍 直徑160mm or 4?方片 直徑260mm or 6?方片 直徑360mm or 8?方片 直徑460mm or 350mm方片 直徑600mm or 430mm方片 程式段數 無限制 無限制 無限制 無限制 30個程式 操作步數 無限制 無限制 無限制 無限制 90個步驟 旋轉速度 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-1500rpm ±1rpm steps 0-1,500 rpm ±1rpm steps 旋轉精度 ±0.1 rpm ±0.1 rpm ±0.1 rpm ±0.1 rpm ±0.1 rpm 旋轉方向 順時針、逆時針、交換擺 順時針、逆時針、交換擺 順時針、逆時針、交換擺 順時針、逆時針、交換擺 順時針、逆時針 最大加速度 30,000 rpm/sec 30,000 rpm/sec 30,000 rpm/sec ≤1500rpm時取決於負載 500 rpm/sec 旋轉時間 無限制*,± 0.1 seconds steps 無限制*,± 0.1 seconds steps 無限制*,± 0.1 seconds steps 無限制*,± 0.1 seconds steps 1 to 999 sec/step 腔體直徑 202 mm 302 mm 402 mm 502 mm 642mm 外形尺寸(w*h*d ) 274 x 250 x 451 mm 380 x 307 x 559mm 430 x 310 x 650mm 795 x 638 x 922mm 800 x 1,450 x 1,650mm 觸屏控制 全綵觸屏控制 全綵觸屏控制 全綵觸屏控制 全綵觸屏控制 全綵觸屏控制 設備重量 14Kg 20Kg 32Kg 75Kg 電源參數 220V,50/60 Hz 220V,50/60 Hz 220V,50/60 Hz 220V,50/60 Hz 220V,50/60 Hz

三、勻膠機的特點： 1 、該勻膠機採用德國先進技術： 2 、勻膠機採用 NPP 天然聚丙烯材質構造設計，這種材質有很好的抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方； 3 、勻膠機真空 Chuck 經精密加工製成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸採用進口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調整墊，可保障主軸具有較高的精度。 4 、在安裝結構上，採取了減振措施，保證了在運轉時噪音很低，保證塗覆表面均勻，保證通過調節轉速調節塗覆厚度。 5 、勻膠機腔體配備吹氮 (N2) 功能，或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調壓閥和節流閥實現調節，與配套真空泵一同使用。