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武漢邁可諾科技有限公司

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經營模式: 貿易批發

所在地區: 湖北省  武漢市

認證資訊: 身份認證

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美國Tergeo等離子清洗機

圖片審覈中 美國Tergeo等離子清洗機
美國Tergeo等離子清洗機

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起批量 ≥1套
供貨總量 100套
產地 美國
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趙生 先生
  • 182****4817

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  • 趙生  先生 
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  • 地址: 湖北省 武漢市   洪山區 珞獅南路147號未來城
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產品詳情

“美國Tergeo等離子清洗機”參數說明

是否有現貨: 認證: CE
機器種類: 等離子清洗機 清洗方式: 利用等離子活性組分的性質來處理樣品表面
清洗工序: 利用等離子活性組分的性質來處理樣品表面 燃料:
原理: 利用等離子活性組分的性質來處理樣品表面 用途: 用於工業,醫療,電子和汽車等行業
品牌: 美國PIE 工作頻率: 13.56MHz
工作電壓: 220v 功率: 75w
型號: Tergeo 規格:
商標: PIE 包裝: 紙箱

“美國Tergeo等離子清洗機”詳細介紹

型號:Tergeo
一、Tergeo系列等離子清洗機應用
等離子清洗機清除樣品表面的污染物,清洗石英、藍寶石及其他材料;
清洗提高材料表面親水性及疏水性,清洗生物晶片、微流控晶片,PDMS;
表面活化:渲染表面的親水性或疏水性,鍵合和沉積前的表面預處理
表面聚合:沉積帶官能分子團的聚合物,移植聚合物到活化後的材料表面;
表面改性:在材料表面產生官能分子團,高分子材料表面修飾;
去除光阻膠:產生表面活性功能組;
去除表面殘留微生物,醫療器械的消毒和殺菌;
提高塑料,聚合物和合成材料粘附性;
清洗電子元件、光學器件、 射器件、鍍膜基片、晶片
清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。
二、Tergeo系列等離子清洗機的特點
1、射頻功率:RF功率小於0.5瓦特,極其細小或細微的樣本
2、操作方法:自動程式或工藝執行;手動操作。
3、等離子感測器:雙等離子體強度感測器,現場監控等離子體源和遠程等離子體源。等離子體強度在LCD觸摸屏上實時顯示。
4、先進過程控制功能:壓力感測器,溫度感測器,在MFC氣體流速米,雙等離子體強度的感測器,自動阻抗匹配。
三、技術參數
1、控制系統
1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。 
2)程序控制:可編程,總共有20個程式,每個程式有3個清潔步驟
2、反應腔體
1)腔體材質:圓柱形石英玻璃艙。
2)腔體尺寸:內徑:110毫米,外徑:120毫米,深度:280毫米,壁厚:5毫米。 
3)前觀測窗:前方開口,5毫米厚石英玻璃可視窗口,可觀測內腔等離子狀態,並帶有防真空泄漏和避免高壓的聯鎖裝置,有效保護操作的安全性;
3、射頻電源 
1)射頻頻率:13.56MHz 
2)射頻功率:標配0~75W;可選配0~150W。從0瓦到150瓦之間以1瓦間距連續可調,自動阻抗匹配。
3)射頻輸出可以工作在脈衝方式,脈衝比可以從1/255調到255/255(連續輸出)。 
4、等離子源
1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。
2)電阻耦合電離方式。 
3)外置電極設計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制 
1)氣路控制:標配一路MFC;可選配三路MFC; 
2)質量流量計可以在0~100sccm之間精確控制氣體流量; 
3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘餘處理氣體。 
4)自動放氣流程控制可以保護真空泵不受影響。 
5)高性能氣壓計可以測量1e-4 Torr到大氣壓之間的氣壓。 
6)6mm氣體介面。
6、真空系統
1)KF25法蘭介面用來連接真空泵。 
2)真空要求:抽速:>1.7m3/h;
3) 氣壓:<=200mTorr.

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