高溫四探針測量系統供應
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產品詳情
“高溫四探針測量系統供應”參數說明
是否有現貨: | 是 | 品牌: | 佰力博 |
適用範圍: | 電工 | 分類: | 數顯儀表儀器 |
類目: | 高溫四探針測量系統 | 型號: | HRMS-800 |
控溫精度: | ±1℃ | 溫度範圍: | RT-600℃ |
產量: | 1 |
“高溫四探針測量系統供應”詳細介紹
佰力博自主研發供應的HRMS-800高溫四探針測量系統可以實現室溫到600攝氏度、真空、氣氛測量條件,測量矽、棒料、晶片電阻率和矽外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻及其他導電薄膜的方塊電阻。
功能特性:
1.高溫四探針測量系統採用雙電測組合測量模式,不用進行係數修正;
2.可以測量高溫、真空、氣氛條件下薄膜方塊電阻和薄層電阻率;
3.可以與美國keithley2400數位源表配套測量半導體材料的導電性能;
4.可以通過USB傳輸資料,資料格式是Excel格式。
5.主機、軟體、高溫爐等集成一體,可視化操作;
6.實現純淨氣氛下的測量;保證探針在高溫下不氧化;
技術規格:
測量溫度:RT---600℃;
控溫精度:±1℃ ,顯示精度:±0.1℃;
升溫斜率:1-5°C/min;
測量精度:0.05%;
電阻率:10-5 ~105 Ω ;
電導率:10-5 ~105 s/cm
方塊電阻:10-4 ~106 Ω/□;
電阻:10-5 ~105 Ω;
功能特性:
1.高溫四探針測量系統採用雙電測組合測量模式,不用進行係數修正;
2.可以測量高溫、真空、氣氛條件下薄膜方塊電阻和薄層電阻率;
3.可以與美國keithley2400數位源表配套測量半導體材料的導電性能;
4.可以通過USB傳輸資料,資料格式是Excel格式。
5.主機、軟體、高溫爐等集成一體,可視化操作;
6.實現純淨氣氛下的測量;保證探針在高溫下不氧化;
技術規格:
測量溫度:RT---600℃;
控溫精度:±1℃ ,顯示精度:±0.1℃;
升溫斜率:1-5°C/min;
測量精度:0.05%;
電阻率:10-5 ~105 Ω ;
電導率:10-5 ~105 s/cm
方塊電阻:10-4 ~106 Ω/□;
電阻:10-5 ~105 Ω;
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