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特徵  

上側和下側對齊能力              

高精度對準臺              

楔塊誤差自動補償機構              

電動和配方控制曝光間隙              

支持 的紫外線LED技術              

最小化系統佔地面積和設施要求              

分步過程指南              

遠程技術支持              

多用戶概念（無限數量的用戶帳戶和配方、可分配的訪問許可權、不同的用戶界面語言）              光刻工藝的敏捷加工與轉換              

檯面或獨立式，帶防振花崗岩檯面              

附加功能：              

鍵對齊              

紅外對準              

納米壓印光刻             

 μ-接觸印刷

技術資料              

晶圓直徑（基板尺寸）              

標準平版印刷：小於等於150 mm的零件              

軟紫外-無光：片高達150毫米              

解析度             

 <40nm（解析度取決於模板和工藝）              

支持的進程              

軟紫外           

光源              

燈或紫外LED光源              

自動分離              

不支持              

工作印章製作    

外部