連續PE-CVD鍍膜設備維意真空 產品發佈

  快速冷卻卷對卷等離子體增強CVD連續生長爐，它由三溫區管式爐，三路質量流量計氣路系統，真空機組，RF射頻電源模組，異形石英管，風冷裝置，收放銅箔的密封裝置組成，每一個部件都可以CVD管式爐的爐管兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放銅箔的密封裝置），收放銅箔的密封裝置內分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，進料進氣真空腔室與爐體之間安裝有射頻等離子體發生器，所述出料排氣腔體與爐體之間安裝有風冷裝置。相對於現有技術具有快速冷卻、連續生長的優點，可以進行大面積、高質量石墨烯的規模化生長。

連續PE-CVD鍍膜設備---維意真空

主要技術參數：

額定功率：7KW

額定電壓：AC 208-240V ，50/60 Hz

溫度：1200℃

持續工作溫度：≤1100℃

升溫速率：≤30℃/min

爐管尺寸：高純石英管Φ80×1700mm

加熱區長度：200+200+200mm

恆溫區長度：400mm

控溫方式：10寸液晶屏觸摸控制（模糊PID控制和自整定調節，智

能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報 功能）

控溫精度：±1℃

加熱元件：進口電阻絲

真空度可達10-1Pa ；

真空泵抽速：10m³/h

氣路設計：氣路系統內部裝有高精度質量流量計可準確的控制氣體流

量；設靜態混氣室，有助於氣體充分混合，按要求配比。

準確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重複精度：±0.2%

響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差範圍：0.1～0.5 MPa

壓力：3MPa

介面：Φ6,1/4''

顯示：液晶屏顯示

工作環境溫度:5~45高純氣體

內外雙拋不鏽鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

射頻信號頻率：13.56MHz±0.005%W

功率輸出範圍：0-500W