加拿大Zaber電控平移臺 高精度線性平移臺
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產品詳情
“加拿大Zaber電控平移臺 高精度線性平移臺”參數說明
是否有現貨: | 否 | 認證: | 1 |
品牌: | Zaber | 尺寸: | 1 |
類型: | Zaber | 適用範圍: | 高精度電控平移臺 |
重量: | 1 | 加工定製: | 否 |
型號: | X-ldm-ae | 規格: | 1 |
商標: | Zaber | 包裝: | 紙箱 |
專利分類: | 1 | 專利號: | 1 |
電感: | 1.24 mh/phase | 電源大小: | 48 VDC |
Max速度: | 1200 mm/s | 峯值推力: | 60 n |
峯值連續推力: | 35 n | Min速度: | 0.000001 mm/s |
“加拿大Zaber電控平移臺 高精度線性平移臺”詳細介紹
X-LDM-AE系列爲移動磁軌電動線性平移臺,也被稱爲1μm精度電控平移臺或高精度線性平移臺,英文名Linear Motor Stage。這款高精度電控平移臺適用於要求出色的精度,和可靠性的應用。中央安裝的線性編碼器可實現1μm的位置精度和一致的移動步長,步長低至25 nm。
X-LDM-AE採用 無鐵芯馬達,提供高速和加速同時最大限度地減少熱量產生,從而提高可重複性。驅動器和編碼器都是非接觸式的,沒有移動電纜,因此系統壽命很長。
有限行程的需求下,移動式磁軌平移臺可以提供 的精度。因爲平移臺移動的部分是與電流及熱源區隔分開的,使得移動能有 的熱穩定性及 低的電噪聲干擾。並且stationary forcer是通電後會產生熱的裝置,被固定在當作散熱器的系統底部,這也使得整個系統擁有 的熱穩定性。
X-LDM-AE僅需要標準的48 V電源。它們可連接到計算機的RS-232介面或USB介面,並且可以與任何其他Zaber產品進行多軸連接。並共用電源,使多個X系列產品可以共用一個電源。與Zaber的所有產品一樣,X-LDM-AE系列設計爲“即插即用”,易於設置和操作。X-LDM-AE設備還包括一個數位輸入和兩個數位輸出,用於連接外部系統。X-LDM-AE方便使用於各種量測和真空實驗,PL和EL實驗還有自動化設備等應用上。
X-LDM-AE高精度電控平移臺特點
- 高重複性80nm和精度1μm,Min增量移動25 nm
- 1 nm解析度並有線性編碼器
- 速度 快可達1.2M/秒,加速度高達3.5g
- 60,110,210 mm三種行程選擇
- 內置控制器; 並可與其他Zaber平臺多軸串接
- 非接觸式無鐵芯直線電機,具有超精密,高動態和零間隙
- 一個數位輸入和兩個數位輸出
- 可組合成雙軸XY
重複性Repeatability:
在穩定條件下,指示設備移動到目標位置反覆 反復100次(每次從相同方向接近)時,實際位置的的偏差。
精度(單向)Accuracy (unidirectional):
當從相同方向,在任何兩個位置之間移動時可能出現的誤差。
增量移動Minimum Incremental Move:
定位軸增量移動的步長(Min機械增量)。
X-LDM-AE高精度電控平移臺規格參數:
X-LDM-AE規格
參數
Built-in Controller
Yes
精度(單向)
1 µm
重複性
< 0.08 µm
Min增量移動
25 nm
Max速度
1200 mm/s
Min速度
0.000001 mm/s
Speed Resolution
0.000001 mm/s
Encoder Count Size
1 nm
編碼器類型
Linear analog encoder
峯值推力
60 N
峯值連續推力
35 N
通訊介面類型
RS-232
通訊協議
Zaber ASCII (Default)
Maximum Centered Load
120 N
Maximum Cantilever Load
1200 N cm
Guide Type
Crossed-Roller Bearing
Maximum Current Draw
3000 mA
電源大小
48 VDC
電源插頭
2-pin screw terminal
馬達電機類型
Moving Magnet Track Linear Motor
馬達電機額定電流
2400 mA/phase
電感
1.24 mH/phase
資料線
Locking 4-pin M8
Limit or Home Sensing
Optical Index Mark
手動控制
帶按鈕的分度旋鈕
Axes of Motion
1
LED指示燈
Yes
安裝介面
M6 threaded holes
工作溫度範圍
10 to 40 °C
真空相容
No
RoHS Compliant
Yes
CE Compliant
Yes
Digital Input
1
Digital Output
2
X-LDM-AE高精度線性平移臺參數對比:
型號
行程
Max加速度
垂直抖動偏差
水準抖動偏差
X-LDM060C-AE54
60 mm (2.362 ")
34.3 m/s2 (3.50 g)
< 4 µm (< 0.000157 ")
< 3 µm (< 0.000118 ")
X-LDM110C-AE54
110 mm (4.331 ")
24.5 m/s2 (2.50 g)
< 4 µm (< 0.000157 ")
< 3 µm (< 0.000118 ")
X-LDM210C-AE54
210 mm (8.268 ")
14.7 m/s2 (1.50 g)
< 8 µm (< 0.000315 ")
< 5 µm (< 0.000197 ")
X-LDM060C-AE54D12
60 mm (2.362 ")
34.3 m/s2 (3.50 g)
< 4 µm (< 0.000157 ")
< 3 µm (< 0.000118 ")
X-LDM110C-AE54D12
110 mm (4.331 ")
24.5 m/s2 (2.50 g)
< 4 µm (< 0.000157 ")
< 3 µm (< 0.000118 ")
X-LDM210C-AE54D12
210 mm (8.268 ")
14.7 m/s2 (1.50 g)
< 8 µm (< 0.000315 ")
< 5 µm (< 0.000197 ")
型號
Pitch
Roll
Yaw
Moving Mass
X-LDM060C-AE54
0.003 ° (0.052 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
1.74 kg (3.828 lbs)
X-LDM110C-AE54
0.005 ° (0.087 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
2.29 kg (5.038 lbs)
X-LDM210C-AE54
0.01 ° (0.174 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
3.17 kg (6.974 lbs)
X-LDM060C-AE54D12
0.003 ° (0.052 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
1.74 kg (3.828 lbs)
X-LDM110C-AE54D12
0.005 ° (0.087 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
0.002 ° (0.035 mrad)
2.29 kg (5.038 lbs)
X-LDM210C-AE54D12
0.01 ° (0.174 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
0.005 ° (0.087 mrad)
3.17 kg (6.974 lbs)
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