芯茂-表面缺陷檢測裝置-魔鏡
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產品詳情
“芯茂-表面缺陷檢測裝置-魔鏡”參數說明
| 型號： | Yis-200sp,300sp | 尺寸： | 420(w)X700(d)X970(h)mm |
| 產量： | 3 |
“芯茂-表面缺陷檢測裝置-魔鏡”詳細介紹
芯茂-表面缺陷檢測裝置-魔鏡基本介紹
應用魔鏡的原理，高靈敏度地檢查鏡面樣品的表面狀態。可以高靈敏度地檢測樣
品表面上的不均勻性，翹曲，拋光不均勻性等，檢測結果在監視器上用亮度（白
）和暗度（黑）表示。
檢查可以在非接觸和非破壞性的情況下進行，並且可以立即確認樣品的表面狀態
。 這是一款使用免維護光學系統，可操作性優異的設備。
芯茂-表面缺陷檢測裝置-魔鏡性能特點
1、利用魔鏡原理，觀察那些目視無法確認的晶圓鏡面樣品表面上的micro缺陷。
2、凹面缺陷則較爲明亮、凸面缺陷則較爲暗淡。通過明暗測定缺陷種類、缺陷位置、以及缺陷尺寸。
3、可檢測晶圓表面的Dimples、凹凸、研削痕、研磨痕、滑移線、Edge缺陷、翹曲、變形等異常。
芯茂-表面缺陷檢測裝置-魔鏡技術參數
芯茂-表面缺陷檢測裝置-魔鏡使用說明
1、切割，研削，研磨，拋光，外延及退火後矽片表面檢測（量產用）
2、SiC，GaN等化合物晶圓表面缺陷檢測
3、藍寶石，水晶，玻璃晶圓的表面以及內部缺陷檢測
4、各工程的晶圓抽樣檢測用（線下用）
芯茂-表面缺陷檢測裝置-魔鏡採購須知
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