濺射鉻鋁矽靶 三元合金靶材 鎳鉻靶 鈦鋁靶 鉻鋁靶
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“濺射鉻鋁矽靶 三元合金靶材 鎳鉻靶 鈦鋁靶 鉻鋁靶”參數說明
是否有現貨: | 是 | 認證: | Is09001 |
品名: | 鉻鋁矽靶 | 牌號: | Cralsi tial crni |
粒度: | 1200 | 用途: | 鍍膜 |
型號: | Cralsi tial crni | 規格: | 各種規格 按圖加工 |
商標: | 宏晟拓 | 包裝: | 標準包裝 |
產量: | 99999 |
“濺射鉻鋁矽靶 三元合金靶材 鎳鉻靶 鈦鋁靶 鉻鋁靶”詳細介紹
寶雞宏晟拓優質鉻鋁矽靶 鉻鋁靶 鈦鋁靶 異型靶材 有色金屬合金靶 專業生產濺射靶材,主營鉻靶材,鈦鋁靶,鉻鋁靶,鈦矽靶,鉬合金, 靶,鎳鉻靶,多晶矽及蒸發膜料等。
薄膜是一種特殊的物質形態,由於其在厚度這一特定方向上尺寸很小,只是微觀可測的量,而且在厚度方向上由於表面、界面的存在,使物質連續性發生中斷,由此使得薄膜材料產生了與塊狀材料不同的獨特性能。薄膜的製備方法很多,如氣相生長法、液相生長法(或氣、液相外延法)、氧化法、擴散與塗布法、電鍍法等等,而每一種制膜方法中又可分爲若干種方法。薄膜技術涉及的範圍很廣,它包括以物理氣相沉積和化學氣相沉積爲代表的成膜技術,以離子束刻蝕爲代表的微細加工技術,成膜、刻蝕過程的監控技術,薄膜分析、評價與檢測技術等等。現在薄膜技術在電子元器件、集成光學、電子技術、紅外技術、 射技術以及航太技術和光學儀器等各個領域都得到了廣泛的應用,它們不僅成爲一間獨立的應用技術,而且成爲材料表面改性和提高某些工藝水準的重要手段。
濺射是薄膜澱積到基板上的主要方法。濺射鍍膜是指在真空室中,利用荷能粒子轟擊鍍料表面,使被轟擊出的粒子在基片上沉積的技術。
1.整個過程僅進行動量轉換,無相變
2.沉積粒子能量大,沉積過程帶有清洗作用,薄膜附着性好
3.薄膜密度高,雜質少
4.膜厚可控性、重現性好
5.可製備大面積薄膜
6.設備複雜,沉積速率低。
三. 濺射的物理基礎--輝光放電
濺射鍍膜基於高能粒子轟擊靶材時的濺射效應。整個濺射過程是建立在輝光放電的基礎上,使氣體放電產生正離子,並被加速後轟擊靶材的離子離開靶,沉積成膜的過程。
不同的濺射技術採用不同的輝光放電方式,包括:直流輝光放電 -直流濺射、射頻輝光放電-射頻濺射 和磁場中的氣體放電-磁控濺射。
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