1 電子 輸出功率穩定，特殊結構設計有效杜絕二次電子的產生和電子 打火。
2 轉動採用磁流體引入,長期運轉密封可靠。
3 工件轉動座多重水冷和重力導向設計，運轉平穩可靠，徑向和軸向跳動3-5mm。
4 採用PLC+觸摸屏控制, 多重泵閥水電互鎖互保護，可全程自動控制,包括真空系統,烘烤系統,整個蒸發鍍膜過程。 
5 安裝採用全程四極質譜監控和氦質譜檢漏, 真空密封性好, 設備工藝穩定可靠。
6 所有零部件採用國內 廠家, 電器元件採用進口或合資企業產品, 設備24小時連續長期運行可靠穩定。

1. 型號：zzs1300

2. 外形尺寸：3900*4050*2950mm

3. 重量：4000kg

4. 立式前開門結構，不鏽鋼真空室Φ1300X1500mm

5. 極限真空：1×10-4Pa（空載清潔真空系統，300°烘烤後）
6. 恢復真空時間：大氣至4×10-3Pa≤15min。
7. 大抽速主泵，KT-630型擴散泵（18000L/s）兩臺，配備防湍流裝置。
8. 工件轉動：採用磁流體密封轉動裝置，轉動座多重水冷和重力導向設計，運轉平穩可靠。
9. 工件烘烤：桶狀上烘烤,三點控溫,烘烤溫度可達350°。
10. 永磁E型電子 ， 功率10KW/支；可配置單 或雙 ，多穴坩堝和環形坩堝。 
11. 配備美國Inficon公司生產的SQC310C 或IC6型石英晶體膜厚控制儀。
12. 統、烘烤系統、工件轉動系統、膜厚監控系統等進行監測和控制，可採用自動和手動兩種模式。

13. 可選配Φ16CM的離子源或深冷低溫冷阱。

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地    址：廣東東莞市茶山鎮黃嶺路62號