一、產品簡介：

該設備ZYG1300-200是一款中小型的三溫區立式管式爐；採用真空吸附成型的高純氧化鋁纖維爐膛保溫部分採用矽酸鋁澆鑄纖維真空澆注模組，熱效率高，輕、薄、節能、施工簡捷；加熱元件採用一字矽碳棒，有效保證了較好恆溫區和溫度均勻度；爐管採用高純度進口石英管（使用壽命 長 耐用）的尺寸爲：φ200*1500mm、有效溫區爲：φ190*600mm，加熱區爲：φ190*900mm；；法蘭採用水冷密封結構使用310S的不鏽鋼材料無縫滿焊而成；法蘭的水爲上進下出，介面爲φ8的卡套式接頭；可有效保證設備能夠長期高溫使用，有效避免了高溫狀態下密封圈形變漏氣等隱患；爲了 方便客戶進取料，底部爲進取料區域，採用自動升降平臺把料送到恆溫區；頂部法蘭有排氣收料閥、真空泵閥門；採用PID溫控調節，使爐溫控制精度達到±1℃；搭配全自動控制系統，所有溫度系統、真空系統、氣路系統均集成於觸摸屏及PLC內；客戶只需一鍵啓動即可;此款設備可做CVD氣象沉積，矽碳包覆，退火，燒結等工藝；被高校、科研院所、工礦企業廣泛用於材料或化學實驗室在真空或保護氣氛狀態下燒結各種新材料樣品；

二、主要技術參數：

產品名稱

CVD管式爐

產品型號

ZYG1300-200

溫度

≤1200℃

工作溫度

RT-1200℃

管子尺寸

Φ200*5*1500mm（直徑*壁厚*長）

恆溫區尺寸

Φ190*600mm（直徑*長）

溫區個數

雙溫區（兩點控溫）

加熱元件

一字型矽碳棒

爐管材質

高純石英管

流量計

可選配；質量流量計（北京七星華創）

溫控儀表 儀錶

廈門德電

PLC

西門子

觸摸屏

崑崙通態

冷水機

冷水機

真空系統

雙級機械泵（寧波鮑斯）

可通氣氛

氮氣、氬氣、 、 等

保溫材質

高純氧化鋁多晶纖維部分選用矽酸鋁澆鑄纖維真空澆注模組

溫控系統

PID調節、自整定功能；

測溫方式

S型熱電偶（鉑銠）

控溫精度

±1.0℃

升溫速率

≤20℃/min（推薦升溫≤10℃/min）

溫場均勻度

±5°

最大功率

18KW

工作電源

AC 380V Single- Phase，50/60 Hz

三、設備結構：

爐殼結構

用全新設計的雙層全密封模組式殼體，合理的結構設計可使爐殼對各個密封點進行定向通風散熱處理，可確保使用的雙重安全性；全新的外觀 加美觀，操作 加方便、可靠；

加熱爐體採用雙層風冷殼體對開式結構，爐殼和內膽合理的空氣夾層及合理的角度設計能有效的保證爐殼所有表面的溫度低於55℃； 

幹鍋升級平臺

料可以通過自動升降平臺到加熱區、降下來後可從爐門處拿出。

1、升降平臺行程          300mm

2、升降平臺升降速度     0.1um-2000um/s  

3、升降平臺可自動，手動升降，也可多段速升降

4、升降平臺上下都做了限位，最大限度的保護設備

5、放料取料都很方便

真空系統

設備內置真空系統採用一臺直聯泵DRV-24系列、真空壓力錶、真空放氣閥、真空管路等，並留有充氣介面。爲減少爐體振動，真空管道與泵的連接採用金屬波紋管；

真空測量系統

該系列電阻真空變送器將真空規管與測量及控制電路集成在一起，採用了高精度模數轉換 器採集資料，並利用單片機系統來對採集資料進行非線性處理及誤差修正，是低真空測量較理想的儀器之一

氣路 系統

該設備的氣路有不鏽鋼針型閥、電磁閥、304管路、等組成，且該系統上配備有壓力 互鎖裝置和 防爆裝置，能實時監測保護爐內壓力，使用 加可靠；

氣體探測器

氣體探測器是一種通過進口催化燃燒式感測器，可以對 的易燃易爆性進行檢測的 儀器。具有防爆、防塵的特點，可廣泛適用於石油、化工、冶金、煤礦等存儲、使用與貯存 所。 

針型閥

不鏽鋼管路

爐管法蘭

採用310S不鏽鋼水冷法蘭有效避免了高溫狀態下密封圈形變漏氣；

控溫系統

溫度控製爲模糊PID微電腦自動演算,PV/SV同時顯示按鍵設定；

溫度控制方式爲P.I.D+S.S.R可控矽；

控制方式：30段PID程式控溫 ；

可控矽控制原理如下：

自動控制

該設備控制系統分爲手自動雙重模式；

所有溫度系統、真空系統、氣路系統均集成於觸摸屏及PLC內；客戶只需一鍵啓動，該設備就可依次運行設備的真空、溫度等運行、停機程式；該過程無需人工過多干預，以保證整機設備運行可靠的穩定性能；該設備具有無紙記錄儀功能，能夠對所有資料進行實時記錄及歷史記錄調取功能；超溫設置報 並自動切斷加熱迴路，報 方式爲聲光報 。

資料記錄系統

觸摸屏內需記錄以下資料，可調閱歷史記錄（自帶無紙記錄儀功能）：

1：主控溫度；

2：監控溫度；

3：真空數值；

要求以上溫度具有資料報表及曲線顯示的 ，方便客戶調閱；帶資料導致及報表生產功能；可讓客戶每爐產品都能做到資料備案；