金屬磁控濺射儀鄭科探
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產品詳情
“金屬磁控濺射儀鄭科探”參數說明
是否有現貨: | 是 | 認證: | 鄭科探 |
品牌: | 鄭科探 | 加工定製: | 是 |
型號: | Kt-z1650PVD | 商標: | 鄭科探 |
包裝: | 木箱 | 產量: | 999 |
“金屬磁控濺射儀鄭科探”詳細介紹
金屬磁控濺射儀鄭科探基本介紹
金屬磁控濺射儀, 外形小巧 ,功率電流大小可調,觸摸屏控制,有工藝儲存功能,外配水冷機可長時間工作。
金屬磁控濺射儀鄭科探性能特點
金
屬磁控濺射儀這是一種易於使用的基本儀器,用於SEM試樣的鍍金。它具有全可變電流控制、帶暫停選項的數位過程定時器、可變高度試樣臺、鉸鏈頂板和 O 形圈密封真空室。該控制裝置允許獨立於氣體壓力設置濺射電流,氣體壓力由手動泄漏閥單獨調節。覆蓋面和晶粒尺寸針對任何試樣進行了優化,徑目標的冷磁控管型磁頭能夠以 的加熱實現 的濺射。鍍膜時間由帶有數位讀數的定時器設置並存儲在記憶體中。真空狀態和濺射電流顯示在C觸摸屏上
金屬磁控濺射儀鄭科探技術參數
金屬磁控濺射儀廠家供應技術參數;
控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 |
直流濺射電源 |
鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程式 |
功率 |
≤1000W |
輸出電壓電流 |
電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 |
機械泵 ≤5Pa(5分鍾) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 |
≤30Pa |
擋板類型 |
電控 |
真空腔室 |
石英+不鏽鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 |
可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 |
8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 |
40-105mm |
真空測量 |
皮拉尼真空計(已安裝 測量範圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空介面 |
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
金屬磁控濺射儀鄭科探使用說明
金屬磁控濺射儀鄭科探採購須知
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