²£«~²¤¶ »
¡@¡@§Ú¤½¥q¬°°ê¤ºÀu¨qªº¯uªÅÁὤ±M®a¡A¬°«È¤á´£¨Ñ¨ô¶VªºParyleneÁὤ¥[¤uªA°È¤Î§Þ³N«ü¾É¡C
¡@¡@Parylene¬O¤@ºØ«OÅ@©Ê°ª¤À¤l§÷®Æ¡A¤¤¤å¦W¡A»E¹ï¤G¥Òf¡A¬£©Ôºú¥¦¥i¦b¯uªÅ¤U®ð¬Û¨I¿n¡AParylene¬¡©Ê¤À¤lªº¨}¦n¬ï³z¤O¯à¦b¤¸¥ó¤º³¡¡B©³³¡¡A©P³ò§Î¦¨µL°w¤Õ¡A«p«×§¡¤Ãªº³z©úµ´½tÒ\¼h¡Aµ¹¤¸¥ó´£¨Ñ¤@Ó§¹¾ãªºÀu½è¨¾Å@Ò\¼h¡A©è¿m»ÄÆP¡BÆQÃú¡B¾`µß¤Î¦UºØ»G»k©Ê®ð¥óªº«I®`¡A¦]¬°Parylene¤£¬O²GÅé¡A©Ò¥HÒ\¼Å¹Lµ{¤¤¤£·|»E¶°¡A¾ô±µ¦¡§Î¦¨Ås¤ë±¡C
¡@¡@
¡@¡@»E¹ï¤G¥Òf³q±`¨Ï¥Îªº¦³¤TºØ«¬¸¹¡AN«¬¡BC«¬¡BD«¬¡C¥DnÀ³¥Î¦³¥H¤U´XӤ象G
¡@¡@1¡BºÏ©Ê§÷®Æ
¡@¡@ÀHµÛ«H®§²£·~ªº¤£Â_µo®i¡AºÏ©Ê¤¸¥ó¶V¨Ó¶VÁͦV©ó¤p«¬¤Æ¡A3-5 ªº³nºÏªä¡A2-3 ªºµ}¤g¥ÃºÏ§÷®Æ¡A¬Æ¦Ü¤Ø¤o§ó¤pªººÏ§÷³£¤£Â_³QÀ³¥Î¡A¹ïºÏ§÷ªº¨¾Å@´£¥X¤F·sªºn¨D¡C¤p«¬³nºÏªä§@Äǽu¾¹¥ó®É¡A¸g»E¹ï¤G¥ÒfÒ\¼Å«á¯à@1500-2000V¬Æ¦Ü§ó°ªªº¹qÀ£¡A¥Ñ©ó»E¹ï¤G¥Òf¼¯À¿«Y¼Æ§C¡AÄǦ¨¾Þ·|§ó·Æ·È¡A¤£¶Ë½u¡A§ó«K©ó¾Þ§@¡Aµ}¤g×ýÅK¸N¥ÃºÏ§÷®Æ¬O¤@ºØ°ª©Ê¯à±jºÏ§÷®Æ¡A¦ý³oºØ§÷®Æ¦bªÅ®ð¤¤«Ü¤£Ã©w¡A¤Ø¤o¸û¤jªº³q±`¥Î¹qÁá©ÎÀô®ñ¹qªaº£§@¨¾Å@Ò\¼h¡A¤Ø¤o¸û¤pªººÏ§÷¡A¯S§O¬OÀô«¬©Mµ©§ÎªººÏ§÷¡A¤w¤£¯à¥Î¤Wz¶Ç²Î¤èªk¹ê²{¥i¾a¨¾Å@¡Aº¡¨¬¨Ï¥În¨D¡CParylene¿W¯Sªº¨î³Æ¤uÃÀ©MÀu²§©Ê¯à¬Ûµ²¦X¡A¨Ï¥¦¯à¹ï¤p«¬¶W¤p«¬ºÏ§÷¶i¦æµLÁ¡®zÂI¥þÒ\¼ÅªººÏ§÷¥i®ûÆQ»Ä10¤Ñ¥H¤W¤£»G»k¡A¥Ø«e°ê»Ú¤W¤p«¬¶W¤p«¬ºÏ§÷¡A´X¥G³£±Ä¥ÎParylene§@µ´½t©M¨¾Å@Ò\¼h¡C
¡@¡@2¡B¦L¨î¹q¸ô²Õ¥ó©M¤¸¾¹¥ó
¡@¡@ÀHµÛªí±¶K¸Ë§Þ³Nµo®i©M¤¸¾¹¥óªº¤é¯q¤p«¬¤Æ¡A¦L¨î¹q¸ô²Õ¥ó¤]¤é¯q¦V¤p«¬¤Æ©M°ª±K«×¤è¦Vµo®i¡A³oµ¹¦L¨î¹q¸ô²Õ¥óªº¤T¨¾±¹¬I´£¥X¤F·sªºn¨D¡C¶Ç²Î¨Ï¥ÎªºÀô®ñ¾ð¯×¡B»E´â¯×¡B¦³¾÷Öº¾ð¯×¡B»E¤þ²m»Ä¯×µ¥¨¾Å@Ò\®Æ³£¬O²GÅéÒ\®Æ¡C¥Ñ©ó²GÅ骺Ö߫שMªí±±i¤Oµ¥ì¦]¡AÒ\¼h«p«×¤£§¡¤Ã¡A¦bÙ±¡B¨¤µ¥³BÒ\¼h¸ûÁ¡¡A·í¤¸¾¹¥ó¤§¶¡¡A°òªO¤§¶¡¶È¦³«Ü¤p¶¡¶Z®É¡A·|¦]Ò\¼h¬y¤£¨ì¦Ó§Î¦¨®ð»Ø¡CÒ\¼h©T¤Æ¡A¯M·F«á·|¦]·»¾¯©Î¤p¤À¤l§U¾¯ªº´§µo¡A²£¥Í¦¬ÁYÀ³¤O©Î§Î¦¨·L¤p°w¤Õ¡C³o¨Ç¶Ç²ÎÒ\¼hªº¤¶¹q±j«×¤@¯ë¤]¦b2000V¡þ25um¥H¤U¡A¦]¦¹¥²¶·¸g¦h¦¸Ò\¼Å¡A¥Î¸û«pªºÒ\¼h¤~¯à¹ê²{¸û¥i¾aªº¨¾Å@¡AParyleneÒ\¼Å¬O¥Ñ¬¡©Êªº¹ï¤G¥ÒfÂù¹CÂ÷°ò¤p¤À¤l®ð¦b¦L¨î¹q¸ô²Õ¥óªí±¨I¿n»E¦X§¹¦¨¡C®ðºAªº¤p¤À¤l¯àº¯³z¨ì¥]¬A¶K¸Ë¥ó¤U±¥ô¦ó¤@Ó²Ó¤pÁ_»Øªº°ò§÷¤W¨I¿n¡A§Î¦¨¤À¤l¶q¬ù50¸Uªº°ª¯Â»E¦Xª«¡C¡@¡@
¡@¡@3¡B·L¹q¤l¶°¦¨¹q¸ô
¡@¡@Paryleneªº¯uªÅ®ð¬Û¨I¿n¤uÃÀ¤£¶È©M·L¹q¤l¶°¦¨¹q¸ô¨î§@¤uÃÀ¬Û¦ü¡A¦Ó¥B©Ò¨î³ÆªºParyleneÒ\¼h¤¶¹q±`¼Æ¤]§C¡AÁÙ¯à¥Î·L¹q¤l¥[¤u¤uÃÀ¶i¦æ¨è»k¨î¹Ï¡A¶i¦æ¦Aª÷ÄݤơA¦]¦¹Parylene¤£¶È¥i¥Î§@¨¾Å@§÷®Æ¡A¦Ó¥B¤]¯à§@¬°µ²ºc¼h¤¤ªº¤¶¹q§÷®Æ©M±»½¤§÷®Æ¨Ï¥Î¡A¸gParyleneÒ\¼Å¹Lªº¶°¦¨¹q¸ôªä¤ù¡A¨ä25um²Óª½®|³s±µ½u¡A³s±µ±j«×¥i´£°ª5-10¿¡C
¡@¡@4¡B·L¹q¤l¾÷±ñ«Y²Î¡]MEMS¡^
¡@¡@Parylene¯à¦b0.2um«p®É´N§¹¥þ¨S¦³°w¤Õ¡A5um®É´N¯à@1000V¥H¤Wª½¬yÀ»¬ï¹qÀ£¡A¤S¬O¼¯À¿«Y¼Æ«Ü§Cªº¤@ºØ¦Û¼í·Æ§÷®Æ¡A¤Æ¾Ç´k©Ê©Mªý¹j©Ê¯à¤]¦n¡A¦]¦¹¦b·L¹q¤l¾÷±ñ«Y²Î¤¤¡A°£¤F§@¹q¤¶½è§÷®Æ¥~¡AÁ٥Χ@·L«¬¶Ç°Ê¾÷ºc©M·L«¬»Öªùªºµ²ºc§÷®Æ©M¨¾Å@§÷®Æ¡C
¡@¡@5¡B¶Ç·P¾¹
¡@¡@Parylene¦b¶Ç·P¾¹»â°ì¤¤ªºÀ³¥Î¡A°£¤F§@µ´½t¤¶½è¥~¡A§ó¦h¥Î§@¨¾Å@§÷®Æ¡A¥¦¯à@»Ä¡BÆP©M¦³¾÷·»¾¯¡A¹ï¤ô¨T©MÆQÃúµ¥´c¦HÀô¹Ò¦³·¥¦nªºªý¹j¨¾Å@¯à¤O¡A¥Î·¥Á¡ªºÒ\¼h´£¨Ñ¨}¦nªº¨¾Å@¡C
¡@¡@6¡B¥Íª«Âå¥Î¹q¤l
¡@¡@Parylene¤£¶È¹q©Ê¯à¡A¨¾Å@©Ê¯à¦n¡A¦Ó¥B¥Íª«¬Û·»©Ê¤]¦n¡A¥¦¤w³q¹L¬ü°êFDA½×ÃÒ¡Aº¡¨¬¬ü°êÃĨå¥Íª«Âå¥Î§÷®ÆVIÃþ¼Ð·Ç¡A³Q¦C¬°¬O¤@ºØ¥i¥H¦bÅ餺ªø´Á´Ó¤J¨Ï¥Îªº¥Íª«Âå¥Î§÷®Æ¡C
¡@¡@7¡B¥úÅÖ¥úÆl±µÀY±K«Ê¥ó
¡@¡@¥úÅÖ¥úÆl±µÀY¦b¨Ï¥Î¤¤¥i¯à¹J¨ì¦UºØ¤£¦PªºÀô¹Ò¡A³q±`¨Ï¥Î§t¦³Öº¾ó½¦±K«Ê°éªº±µÀY¨Ï¥úÆl»PÀô¹Ò¬Û¹jÂ÷¡A¸gParyleneÒ\¼Å«áªºÖº¾ó½¦±K«Ê°é¡A¯à§ó¦nªº¾AÀ³¦UºØ´c¦HÀô¹Ò¡A¨¾¤îÖº¾ó½¦¦Ñ¤Æ¡A©µªø±K«Ê°éªº¹Ø©R¡C
¡@¡@
¡@¡@¤@¡B¨Ï¥ÎParyleneªº¦n³B¡G
¡@¡@¡¸¥i¥H§Ü»ÄÆP»G»k¡¸¥i¥H§Ü·»¸Ñ¡]¦b´¶³qªº·»¾¯¤¤¤£·|³Q·»¸Ñ¡^
¡@¡@¡¸§Üá©Ê¯à±j¡]§C¦Ü200¢J¡^
¡@¡@¡¸¨ã¦³µL¥i¤ñÀÀªº«Ì»Ù®ÄªG¡]§C®ðÅ麯³z©Ê¡^¡¸¥i¾a©Ê±j¡A¨ã¦³·¥°ªªºµ´½t±j«×
¡@¡@¡¸±Ä¥ÎParylene¶i¦æÒ\¼h¡A¥i±o¨ì§¡¤Ã¤@P¡A³z©ú¥B·¥Á¡ªº½¤¼h
¡@¡@¡¸¯àÒ\¼Å¨ì¦UºØ§Îª¬ªºªí±¡A¥]¬A¦y¾UªºÙ±Ãä¡BµõÁ_
¡@¡@¡¸¸gÀÙ²M¼ä¡B¤u§Ç²³æ¡B³t«×§Ö¡B§å¶q³B²z¯à¤O±j