系統組成

1、 射器系統；2、外光路系統；3、X、Y、∮三軸精細運動系統；4、機器人上下料系統；5、尋邊定位系統；6、高速振鏡掃描系統；

一鍵式操作全自動運行

效率高、速度快

非接觸式加工，避免污染

長期穩定可靠運行.

人性化設計、人機界面友好

觸摸屏操控

射器壽命十萬小時免維護

光速質量好、聚焦光斑小、能實現超精細標記

自動化程度            自動上下料、自動尋邊定位、自動標刻打碼

加工尺寸               6寸、8寸、12寸

標刻內容              十字定位標記、ID序列號

掃描速度              ≤7000mm/s

標記效率              >80pcs/hr

定位精度              ±2.5μm

重複精度              ±1μm

旋轉精度              30 arc-sec(0.008°)

行程範圍              X:200mm Y:150mm θ:360° Z:25mm

射波長              355nm/1064nm

重複頻率              20~500kHz

射功率              20W@30kH

射 等級          Class IV

 適用於矽晶圓的定位十字叉標刻和ID序列號打標

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