崑山艾科迅機械有限公司

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經營模式: 生產製造

所在地區: 江蘇省  蘇州市

認證資訊: 身份認證

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半導體材料矽(Si)和鍺 (Ge)真空燒結爐設備

圖片審覈中 半導體材料矽(Si)和鍺 (Ge)真空燒結爐設備
半導體材料矽(Si)和鍺 (Ge)真空燒結爐設備 半導體材料矽(Si)和鍺 (Ge)真空燒結爐設備 半導體材料矽(Si)和鍺 (Ge)真空燒結爐設備
半導體材料矽(Si)和鍺 (Ge)真空燒結爐設備

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價格 面議
起批量 ≥1件
供貨總量 5件
產地 江蘇省/蘇州市
發貨期 自買家付款之日起60天內發貨
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馬先生 先生
  • 152****7982

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  • 馬先生  先生  (產品經理)
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  • 地址: 江蘇省 蘇州市   崑山市 蓬朗鎮經濟技術開發區六時涇路28號
  • 產品詳情

“半導體材料矽(Si)和鍺 (Ge)真空燒結爐設備”參數說明

是否有現貨: 加工定製:
品牌: Acx 功率: 135kVA
電壓: 380V 額定溫度: 1000℃
主要用途: 真空燒結、真空退火 產品認證: CE
型號: Vf2200-2030 規格: 200*300mm
商標: Acx 包裝: 國標
產量: 11

“半導體材料矽(Si)和鍺 (Ge)真空燒結爐設備”詳細介紹

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VF2200-2030 2200℃碳化矽純化爐設備介紹 晶體高溫生長爐

1. 開爐取料型式:立式下出料

2. 主要技術參數

有效溫區尺寸

Φ300×400mm

坩堝外徑尺寸

加熱器

石墨板式(主加熱器+下補償加熱器)

東海碳素G330

隔熱屏材料

高純石墨化軟氈+硬氈

吳羽化學R100

裝爐量

300Kg

 

溫度

2200℃

 

工作溫度

2100℃

1500℃測溫環測溫

加熱功率

135KVA

 

升溫速率

0~20℃/min(可調)

 

控溫精度

±0.1% F S

 

極限真空度

5x10-3Pa

 

工作真空度

5x10-2Pa

 

壓升率

<0.5Pa/h

 

工藝氣氛

真空/氬氣

單氣路質量流量計

爐內壓力

壓力0.02Mpa

充氣壓力0.05Mpa

 

 

3. 結構說明

該設備包含爐體、支撐爐體的架臺組件、爐門鎖緊機構、爐門升降機構、真空系統、熱場、溫度測量與控制系統、電氣控制系統、冷卻水系統、壓縮空氣系統以及工藝氣氛系統。

VF2200-2030 設備簡介使用說明
系統包括:停水、超溫、加熱過流、旋片泵、分子泵,設備具有自檢、故障自診斷、自動保護、防止誤操作等功能。並具有聲光報 提示和具備相應的聯鎖、互鎖保護。
VF2200-2030 採購須知

1、質保期從雙方 的驗收代表簽署驗收報告之日開始12個月,或者從產品到達需方現場之日起13個月,以 到達的一個時間爲準。
2、易損件,例如熱電偶、真空規管、發熱體、熔斷器、密封件、包裝、墊片、潤滑油、有機溶劑,不屬於保修範圍。
3、供方對零部件自然損耗引起的損失沒有責任,對需方不正當的操作而引起損壞不承擔責任,對需方改變設備的用途或處理不恰當的材料,使用非供方提供的硬體或軟體而引起損壞不承擔責任;其他與供方無關的影響而造成的損壞也不在供方責任範圍之列。
4、嚴格執行國家相關產品質量要求,易損件除外,終身維修(維修按本公司有關規定或有關協議)。
5、在接到需方設備故障通知後,供方4小時內 響應,48小時內到現場處理問題。

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