MV-20 系列PTFE泥漿閥爲腐蝕性化學品和磨蝕泥漿介質提供特殊密封。閥門最大限度減小粒子的生成，用於半導體製造和潔淨區域應用。

 

產品概覽

MV-20系列是PTFE聚四氟乙烯含氟聚合物手動隔膜閥，用於半導體和潔淨區域應用中控制研磨性泥漿介質和腐蝕性流體。閥門的流路設計最大限度降低產生的壓降，允許較低的上游壓力需求，改進流體動力學。閥門有2通和3通型，三種通徑尺寸(1/4", 1/2",和1")。介面尺寸範圍：1/4" - 1-1/4" ,連接方式有Parflare, Pargrip 或Nippon Pillar S300 。

MV-20系列泥漿閥閥體由初級形態 純聚四氟乙烯製成，具有 的耐化學性。這個，再加上改性聚四氟乙烯隔膜，使閥門具有良好的柔韌性和 迴圈壽命， 壓力100 psig。閥門本身也非常緊湊，使操作者能夠保護潔淨室和次潔淨區。

MV-20系列的角形和圓形流路，加上一個開放和橫掃碗形狀圍繞其隔膜，最大限度地減少湍流並消除可以引起流體剪切尖角。減少了顆粒截留，提供 的防腐蝕保護。

總的來說，閥門的設計使其特別適合處理磨蝕和腐蝕性泥漿流體，比如那些存在於受僱於半導體製造的CMP (化學機械平坦化或化學機械拋光)工藝的 。MV-20系列也適用於廣泛的其他潔淨區處理及分析應用，比如控制酸、化學品和去離子水的流量。

對於空氣操作版本的MV-20系列泥漿閥，請參閱PV-20系列.

市場:
? 半導體
? 分析試驗室
? 製藥
? 生物製藥
? 航空航太
? 工業

特點/優勢:
? 優異的耐腐蝕性
? 均勻分佈的閥座密封力最小化隔膜和閥座應變，穩定閥門背壓能力
? 膜片厚度最大，最大限度地減少潛在的滲透，同時最大限度提高迴圈壽命
? 用在開環系統中腐蝕性流體時，自排水設計有助可靠性
? 符合 SEMI-F57-0301關於聚合物元件的標準
? 環境溫度範圍:0°F 至 +150° F (-17°C 至 +66° C)
? 流體溫度範圍:0°F 至 +266° F (-17°C 至 +130° C)
? 壓力範圍：真空到100 psig

應用:
? 半導體工具
? 工具掛鉤
? 泥漿和腐蝕性化學品分配系統
? 去離子水

技術規格

溼性材料

PTFE, Modifi ed PTFE

不溼潤的材料

PVDF, Viton, PTFE coated SS spring

壓力範圍

27” HG vacuum (913 mbar) - 80 PSIG (5.5 bar), 27” HG vacuum (913 mbar) - 100 PSIG (7 bar)

外界溫度（C)

66° C

外界溫度（F)

150° F

環境溫度(C)

-17°C

環境溫度(F)

0°F

流體溫度（c)

130° C

流體溫度（F)

266° F

流體溫度（C)

-17°C

流體溫度（F)

0°F

流體容量(Cv)

Cv .20, Cv .76, Cv 2.4, Cv 3.9, Cv 6.4, Cv 10.9, Cv 13.5

流量因子kv(l /mn)

Kv 2.8, Kv 10.8, Kv 34.2, Kv 55.8, Kv 91.5, Kv 155.4, Kv 192.9

長度（英寸）

3.8, 3.96, 5.2, 5.35, 6.22, 6.98, 8.07

長度（毫米）

96.52, 100.58, 132.08, 135.89, 157.99, 177.29, 204.98

產品型號

MV-20-04-0604

MV-20-04-0606

MV-20-06-0608

MV-20-06-0612

MV-20-16-0612

MV-20-16-0616

MV-20-16-0620