SiC用高溫離子注入設備 IH-860DSIC
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產品詳情
“SiC用高溫離子注入設備 IH-860DSIC”參數說明
別名: | SiC用高溫離子注入設備 IH-860D | 是否有現貨: | 否 |
品牌: | UlVAC | 用途: | SiC用高溫離子注入設備 IH-860D |
自動化程度: | 全自動 | 是否加工定製: | 是 |
電流: | 其他 | 型號: | IH-860DSIC |
商標: | UlVAC | 包裝: | 木箱 |
“SiC用高溫離子注入設備 IH-860DSIC”詳細介紹
公司現已推出可用於使用SiC晶圓的家電和汽車功率元件量產的離子注入設備“IH-860DSIC”。吞吐量爲30枚/小時(支持直徑爲75mm-150mm的晶圓),“現已得到元件廠商的充分肯定,完全可用於量產”(Ulvac公司)。面向SiC元件量產的離子注入設備“爲業界 ”(Ulvac公司),希望得到那些計劃2006年以後開始SiC元件量產的功率元件廠商的採用。
可在真空腔中連續 換晶圓
面向SiC元件的離子注入設備過去一直在由各設備廠商進行開發,吞吐量較低,每天僅有幾枚,不適合量產。吞吐量之所以較低,是因爲無法在腔內連續 換晶圓。與矽晶圓相比,SiC晶圓容易因離子注入而產生結晶缺陷,注入離子時需要將晶圓溫度維持在500℃的高溫,在控制結晶缺陷產生的同時,注入離子。過去一直都是手工將晶圓固定在可調溫的晶圓座上,因此 換晶圓時需要在腔內進行放氣。
此次通過給設備配備可調溫的靜電吸盤(Electrostatic Chuck),解決了上述問題。靜電吸盤就是利用靜電作用力,將晶圓吸附到晶圓座上,能夠在真空腔內連續 換晶圓。另外,通過採用可在2個晶圓座上配置SiC晶圓的系統結構,能夠一邊向一個晶圓進行離子注入,一邊同時給另一個晶圓座進行升溫作業。由此,將吞吐量提高到了30枚/小時這種適用於量產的水準。
實現了支持SiC的高注入能量
此次的設備除吞吐量之外,還克服了量產所需的另一個條件。作爲SiC晶圓,注入離子時在使晶圓保持高溫的同時,還需要加大注入能量。其原因在於,在離子注入完成後爲消除結晶缺陷而進行退火處理時離子不易擴散,因此注入時需要給底板的表面至深處都注入離子。此次的設備將注入能量由過去的約400keV提高到了 700keV,達到了量產所要求的水準。
離子注入設備
SiC用高溫離子注入設備 IH-860DSIC
搭載了高溫ESC(靜電吸附卡盤)的面向SiC量產用的高能粒子注入裝置。
產品特性 / Product characteristics
? 可實現自動連續高溫處理注入
? 1價離子可注入至350keV、2價離子可注入至700keV
(Option:1價離子可注入至430keV、2價離子可注入至860keV)
? 通過Dual-End-Station(雙工位)實現高產能;
(A系4"高溫ESC/B系3"高溫ESC、A系6"高溫ESC/B系6"常溫ESC等等,可配合客戶的希望就行規格配置)
? 可減輕操作員的負擔
? 緊湊式設計
? 可大範圍對應從試作到量產的各類需求
產品應用 / Product application
? 對應SiC的離子注入裝置。
研究開發用中電流離子注入設備IMX-3500
中電流離子注入裝置IMX-3500爲 能量200keV、對應 晶圓尺寸8inch的離子注入裝置,適用於大學等機構的研究開發。
產品特性 / Product characteristics
? 晶圓尺寸8inch,搭載了可對應不定形基板的臺板。
? 離子源,除Gas source之外,另外可以使用安全方面 容易處理的B、P、As離子等固體蒸發源。
? HV terminal的部分,與量產裝置是同樣的構成,可確保高信賴性。
產品應用 / Product application
? 教育、研究開發等
高能對應離子注入設備SOPHI-400
可對應至2400KeV的高能離子注入裝置。
產品特性 / Product characteristics
? 枚葉式
? 可對應薄片Wafer
? 平行Beam
產品應用 / Product application
? 功率器件相關薄片基板工藝、IGBT工藝
可對應低速高濃度的離子注入設備SOPHI-30
低加速、高濃度對應的離子注入設備。
產品特性 / Product characteristics
? 枚葉式
? 可對應薄片
? 非質量分離機的對比優點
1)對應低加速.高濃度的好產能離子注入設備
2)相比過去約一半的低價
3)相比過往設備佔用面積爲1/3的緊湊型設計
產品應用 / Product application
? Power Device等薄片基板工藝、IGBT工藝
產品參數 / Product parameters
? 基板尺寸:Max200mm
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