布魯克Dektak 150表面輪廓儀臺階儀
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產品詳情
“布魯克Dektak 150表面輪廓儀臺階儀”參數說明
型號: | Dektak 150 | 規格: | 表面輪廓儀 |
包裝: | 臺階儀 | 掃描長度範圍: | 55mm |
垂直範圍: | 標準524um | 輸入電壓: | 100-120VAC |
重量: | 34 kg | 尺寸: | 292*508*527 mm |
“布魯克Dektak 150表面輪廓儀臺階儀”詳細介紹




表面輪廓儀-Dektak 150
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品牌:VEECO
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產地:德國
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產品型號:Dektak 150
表面輪廓儀可對各種表面進行重複、精確的測量,從傳統的二維粗糙度表面表徵和臺階高度測量到先進的3D繪圖和薄膜應力分析。
佔地面積小、 一代技術和廣泛的附加功能,爲工業和研究工程師提供了優越的性能、多功能性和價值。
1毫米的標準Z範圍可實現 的步進測量6埃重複性和可選的低噪音電子產品提供了4埃重複性用於光刻膠等軟材料測量的NLite附件可選的X-Y自動舞臺提供超過200個位置的可編程性技術
規格:
測試技術:探針輪廓技術
測試功能:二維表面輪廓測試
樣品視場:640*480像素,USB;17 inc 平板顯示器
探針感測器:低慣量感測器(LIS 3)
探針壓力:使用LIS 3感測器:1*15 mg
使用N-lite感測器:0.03*15 mg
探針選項:探針曲率半徑可選範圍:50 nm*25 um;
*徑比針尖:10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺:手動X/Y/@:100*100 mm, 360度旋轉,可手動校平;
可選Y自動移動載物臺,100 mm行程,1um重現性,0.5 um解析度;
可選X-Y自動移動載物臺,150 mm行程;
1um重現率,0.5 um 解析度
計算機系統:主機使用celeron或者semprom處理器
軟體:Dektak軟體
臺階檢測軟體
可選應力測量軟體
可選三維Vision分析軟體
可選縫合軟體
減震裝置:可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度範圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數據點*多12萬數據點
*大樣品厚度*達90 mm (4英寸),取決於配置
*大晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺階*度重現性 6埃
垂直範圍:標準524um(0.02英寸);可選1mm
垂直解析度:*大1A(6.55um垂直範圍下)
尺寸:292 mm *508 mm*527 mm
重量:34 kg
電源要求:
輸入電壓: 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
無論是用於科學研究還是工業生產,Dektak 150探針式表面輪廓儀都具有業內*好的表現性能,**的測量重複性以及*大的掃描範圍。Dektak 150集四十多年的技術積累和創新於*身,爲滿足用戶不同應用方向的需要提供了多種可選配置。堅固的鋁質材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提*了儀器的重複*度,並降低了地板噪音對測量的干擾。基於Windows?XP的軟體用戶界面,使用戶迅速掌握Dektak 150。分析功能齊全,界面直觀,包括從簡便的*鍵"進針即測量",到多次掃描結果的自動分析。通過選配三維成像附件套裝還可以極大地擴充儀器的功能。
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