v數顯熱式氣體質量流量控制器/流量計作爲新型的精密氣體流量調節控制裝置主要是利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分佈的熱傳遞分佈效應而製成，即熱分佈式流量計，採用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，可以不受溫度壓力的影響。將感測器測得的流量信號進行放大，然後與設定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅動控制調節閥門，通過閉環，去控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器在主通道和毛細管間產生層流，控制輸出的流量檢測電壓與流過通道的流量成比例。

   廣泛應用於SPUTTER磁控濺射臺、等離子刻蝕、石油化工、高校實驗室、科研單位、航空航太、光伏行業、半導體行業、真空鍍膜行業、光電產業到工業工具的表面鍍膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、離子注入、精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、食品及製藥產業、氣相色譜儀等相關行業。