熱式氣體質量流量控制器主要是依靠熱式原理，採用新型感測製作工藝，具有響應速度快、準確度高、流量控制穩定、耐壓高、線性度好等優點。外觀和尺寸都非常小巧，是一款非常適合做成套自動化控制的集成智慧儀器。

   熱式氣體質量流量控制器的主要原理是：在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，並將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。利用上下加熱器之間產生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理，來測定流量。熱式流量計感測器包含兩個感測元件，一個速度感測器和一個溫度感測器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。