擴散爐系列

　設備用途：用於大型積體電路、太陽能電池片、電力電子、光電器件、光導纖維等行業的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。 　
　主要技術指標： 　
　 爐管數：1～4管 　
　 配工藝管口徑：Φ90～360　mm（3～12英寸） 　
　 恆溫區長度：760～1000　mm±1.0℃（300～800℃） 　　760～1000　         mm±0.5℃（800～1280℃） 　
　 單點穩定性：±1.0℃／24h（300～800℃） 　
                       　±0.5℃／24h（800～1280℃） 　
　 氣源路數：≤7路，可配恆溫源瓶、 氧合成點火器 　
　 氣體控制：浮子／質量流量計 　
　 懸臂舟參數：速度：20～1000　mm／min 　
　最大行程：2000　mm 　　定位精度：±1　mm 　　 載荷：17　Kg 　
　 超淨工作臺：淨化等級：100級（萬級廠房） 　
　噪音：≤62dB（A） 　　振動：≤3μm　

設備特點：單元組合方式。根據工藝的不同，可以在主機的基礎上配氣源櫃、超淨工作臺、懸臂推拉舟等。