一、真空管式爐簡介

真空爐、真空管式爐、氣氛燒結爐、真空燒結爐、真空氣氛爐、管式真空氣氛燒結爐爲我公司根據客戶需求專業定製的真空氣氛熱處理設備，主要用於氮化矽鍍膜、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結及退火等工藝。本設備具有：關鍵部件進口、自動化程度高、溫度均勻、控制穩定等特點，是理想的科研及生產設備。

二、真空管式爐技術指標

1、外型形式：單管臥式，可根據客戶需求定製
2、加熱器形式：固定式加熱器（產品隨爐升、降溫）
3、加熱元件：矽鉬棒
4、工藝管材質：高純AL2O3
5、 工作溫度：1600℃ 
6、持續工作溫度：1500℃
7、升溫速度：1-15℃/min
8、控溫精度：±1℃
9、爐管尺寸：Φ100*1200mm
10、加熱區尺寸：600mm
11、恆溫區長度：300mm
12、 加熱功率10KW，保溫功率5KW
13、反射板：產品與爐口之間有數層反射板，以減少高溫對爐口的熱輻射。反射板採用高純AL2O3製作，結構爲可方便拆卸結構。
14、氣路：N2、H2、NH3
15、極限真空度：1.0*10-1Pa
16、 充氣正壓：30KPa
17、真空計：採用數位式壓力感測器
18、溫控系統：日本島電32段可編程溫控儀
19、控制方式：調功調壓
20、密封系統冷卻方式：水冷
21、操作方式：手、自動兩種操作方式
22、報 及保護：系統設有超溫報 及保護、斷偶報 及保護、真空系統閥門互鎖保護、缺水報 及保護
23、供電電源：AC380V±10%、50Hz
24、總功率：10KW、三相五線制

青島晨立電子有限公司可根據客戶需求專業化定製各種：管式爐、真空爐、管式真空爐、真空管式爐、真空燒結爐、氣氛爐、管式氣氛爐、管式氣氛燒結爐、真空氣氛爐、熱處理氣氛爐、氣氛保護箱式爐、熱處理氣氛爐、箱式氣氛爐、保護氣氛爐、高溫氣氛爐、氣氛保護爐、加熱氣氛爐等各種真空氣氛保護熱處理設備，歡迎廣大客戶來電來函。