用途：鈮及鈮合金靶材主要應用於表面工程材料，如船舶、化工、液晶顯示器（LCD）以及耐熱、耐腐蝕高導電等鍍膜行業，薄膜太陽能工業，低輻射玻璃工業，平板顯示工業，光學鍍膜工業，工具及裝飾鍍膜工業。

純度：99.9%，99.95%，99.99%

規格：

方形靶材：長度（200mm~2500mm）x寬度（10mm~1000mm）x厚度（1mm～25mm）

圓靶材：直徑Φ（25mm~800mm）x厚度（3mm～28mm）

 

鈮旋轉靶採用真空熔鍊工藝，可生產 長度4000mm，厚度根據客戶要求定製。

鈮平面靶採用真空熔鍊工藝，可生產 長度2500mm， 寬度400mm，尺寸可根據客戶要求加工。

再結晶:95％ 少；
表面粗糙度 : Ra 0.4；
晶粒度: 40μm；

 

鈮靶材化學成分表一：

牌號	主要成份		其他雜質  %
	Nb	Fe		Si	Ni	W	Mo	Ti	Ta	O	C	H	N
Nb1	剩餘	0.004		0.004	0.002	0.005	0.005	0.002	0.07	0.015	0.0040	0.0015	0.003
Nb2	剩餘	0.01		0.01	0.005	0.02	0.01	0.004	0.10	0.02	0.01	0.0015	0.008

鈮靶材化學成分表二：

牌號	化學成分：PPM，不大於
	Fe	Si	Mo	W	Ti	Cr	Ta	Ni	O	C	H	N	(Nb+Ta)%≥
Nb3	20	20	80	100	10	10	1000	20	250	100	15	150	99.9%
Nb2	10	10	50	50	5	5	500	10	200	50	10	100	99.95%
Nb1	5	5	10	20	1	1	100	1	100	30	10	50	99.99%

 

物理性能：

標準號	抗拉強度， 磅 /英寸2（兆帕）	屈服強度（0.2%的殘餘變形） ,磅/英寸2 （兆帕）	伸長率, ,% 1英寸(25.4毫米)標距
RO4200-1 RO4210-2	18000 (125)	12000 (85)	25

 

方靶材尺寸、公差（毫米，不大於）

厚度	厚度公差		寬度	寬度公差	長度	長度公差
	一級	二級
3~8	±0.1	±0.2	50~400	±0.2	50~1800	±0.2
8~14	±0.1	±0.2	50~350	±0.2	50~1500	±0.2
≥14	±0.1	±0.2	50~300	±0.2	50~1200	±0.2

 

圓靶材尺寸、公差（毫米，不大於）

厚度	厚度公差		直徑	直徑公差
	一級	二級
3~8	±0.1	±0.2	50~450	±0.2
8~14	±0.1	±0.2	50~450	±0.2
≥14	±0.1	±0.2	50~400	±0.2

 

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