圓形矽靶材-矩形矽靶材-矽旋轉靶材-矽管靶
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產品詳情
“圓形矽靶材-矩形矽靶材-矽旋轉靶材-矽管靶”參數說明
是否有現貨: | 否 | 用途: | 薄膜太陽能工業,低輻射玻璃工業,平板顯示 |
類型: | 矽靶材 | 行業: | 濺射鍍膜 |
型號: | 多種型號 | 規格: | 多種規格 |
商標: | AEM | 包裝: | 小件真空袋包裝,外紙箱包裝 |
“圓形矽靶材-矩形矽靶材-矽旋轉靶材-矽管靶”詳細介紹
矽靶材
單晶矽靶材、多晶矽靶材、噴塗矽管靶
純度:99.9-99.999%
矽靶材尺寸:
● 尺寸01:直徑<360mm 厚度>1mm (形狀:圓片/圓臺/圓棒);
● 尺寸02:長度<600mm 寬度<400mm 厚度>1mm;形狀:矩形/片材/臺階狀(可拼接);
● 尺寸03:外直徑<360mm,內直徑>1mm,壁度>1mm,長度>1mm, 長4000mm(形狀:管材/圓環/旋轉靶材);
製作工藝
真空磁懸浮熔鍊 ,澆鑄成錠,熱機械處理和精密機械加工;也可矽旋轉靶採用等離子噴塗或者燒結綁定工藝,矽平面靶採用拉晶生長工藝。
應用領域:薄膜太陽能工業,低輻射玻璃工業,平板顯示工業,光學鍍膜工業,半導體工業,工具及裝飾鍍膜工業。
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