SS-T系列中頻磁控濺射電源工作於二級高頻變換模式，交流正弦輸出。電源輸出頻率設爲典型的40KHZ。中頻濺射電源以兩個濺射靶作爲負載，兩個靶交替工作，因此濺射靶一個濺射週期內一半以上的時間爲反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時，有利於抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用於反應膜層環境使用。 電源功率範圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線制50-60HZ±10％ 輸出方式 交流正弦波 輸出頻率 40KHz 輸出電壓 空載1000V[有效值] 輸出特性 恆流/恆功率 滅弧時間 ≤3uS 輸出穩定率 1％ 冷卻方式 2-10KW風冷 10-120KW水冷 使用環境 環境溫度 0-40℃ 環境溼度 相對溼度≤85％ 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好 冷卻水 清潔 不含礦物質及其他可溶性物質 水溫 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa 通訊方式 模擬/RS485/RS232 說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整