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產品詳情
“高功率脈衝磁控濺射電源”參數說明
| 是否有現貨： | 是 | 功能： | 其他 |
| 輸出類型： | 單極性窄脈衝 | 輸出功率： | 15/20/30/40kw |
| 輸入電壓： | 380V | 穩壓形式： | 其他 |
| 連接方式： | 其他 | 供電系統： | 其他 |
| 型號： | Ssph | 規格： | 15/20/30/40kw |
| 商標： | Bovceed | 包裝： | 木箱 |
| 產量： | 50 |
“高功率脈衝磁控濺射電源”詳細介紹
高功率脈衝磁控濺射電源基本介紹
SSPH
系列高功率脈衝磁控濺射（HPPMS）電源工作於二級高頻變換模式，直流脈衝輸出。單個脈衝可輸出2-8兆瓦的
峯值功率。高功率密度的陰極材料將產生高的金屬離化率 ，並且不含靶材顆粒，本系列電源製備的塗層表現出良好的結合力和緻密性，適用於硬質膜層及 裝飾膜層製備。
| 電源功率範圍 |
15/20/30/40KW |
| 輸入電源 |
三相四線制380V±10％50-60Hz |
| 輸出方式 |
單極性窄脈衝 |
| 脈衝寬度 |
5-250uS |
| 脈衝頻率 |
500HZ |
| 輸出電壓 |
空載1000-2000V |
| 輸出電流 |
1200A 2400A 3600A 4800A |
| 滅弧時間 |
≤1uS |
| 負載持續率 |
|
| 冷卻方式 |
風冷 |
| 使用環境 |
環境溫度 0-40℃ 環境溼度 相對溼度≤85％ 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好 |
| 通訊方式 |
RS485/RS232 |
| 說明：電源的輸出功率可根據使用需要作相應調整 |
|
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