1356MHz射頻電源大功率 穩定輸出
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產品詳情
“1356MHz射頻電源大功率 穩定輸出”參數說明
| 是否有現貨： | 是 | 類型： | 射頻電源 |
| 用途： | 工業用 | 商標： | 吉兆源 |
| 重量2： | 28kg | 面板尺寸： | 480X133mm |
| 冷卻方式： | 水冷 | 輸出功率： | 0-2500W |
| 輸出頻率： | 13.56MHz | 模擬控制介面： | Db15 |
| 頻率信號： | 標準正弦波 | 重量1： | 25kg |
“1356MHz射頻電源大功率 穩定輸出”詳細介紹
13.56MHz射頻電源（大功率）基本介紹
應用於等離子體真空系統，具有高可靠性的電源
13.56MHz射頻電源（大功率）性能特點
該電源輸出功率可達2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重複等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源採用大螢幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數，同時還可以顯示匹配器的運行參數並且通過電源面板可操作射頻匹配器。
13.56MHz射頻電源（大功率）技術參數
該電源可以作爲射頻驅動等離子體系統的電源，該系統可應用於半導體工業。應用對象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統。
該電源可以作爲射頻驅動等離子體系統的電源，該系統可應用於半導體工業。應用對象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統。
13.56MHz射頻電源（大功率）使用說明
13.56MHz射頻電源（大功率）採購須知
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