成都真空設備廠家 surpass複合磁控濺射鍍膜 離子轟擊系統 充氣系統 在線測量系統 可定製
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“成都真空設備廠家 surpass複合磁控濺射鍍膜 離子轟擊系統 充氣系統 在線測量系統 可定製”參數說明
材質: | 不鏽鋼 | 驅動方式: | 其他 |
原理: | 磁控濺射鍍膜 | 產量: | 10 |
“成都真空設備廠家 surpass複合磁控濺射鍍膜 離子轟擊系統 充氣系統 在線測量系統 可定製”詳細介紹
●設備主要由真空腔體、真空系統、工件盤系統、烘烤系統、濺射系統、過渡倉、磁力機械手、離子轟擊系統、充氣系統和在線測量系統組成,同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統,可根據客戶使用需求定製。
●真空腔體:φ650X700雙層水冷;(可根據實際需求定製)
●真空系統:分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵複合真空系統;
●真空抽速:1600L/S,進口全量程複合真空計,全金屬防爆真空規;
●極限真空:6.7X10-5Pa;(根據客戶選擇主泵確定)
●磁控靶組件:4個矩形靶,3個圓形靶,根據客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈衝直流濺射電源;
●離子源:1套線性離子源,匹配專用電源;
●氣路:4路反應氣體,進口質量流量計,1路毛細保護氣路;
●烘烤溫度:300℃,不鏽鋼鎧裝加熱器,可拆卸快裝結構;
●工件盤:導軌多工位行星工件盤2套,工件盤裝夾移動小車一輛;
●控制系統:西門子PLC+西門子人機界面+工業控制計算機。
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