供應氣體質量流量感測器FS1015系列
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產品詳情
“供應氣體質量流量感測器FS1015系列”參數說明
| 品牌： | Siargo | 流體： | 氣體 |
| 結構型式： | 熱質量流量計量 | 型號： | FS1015 |
| 規格： | 詳見規格書 | 商標： | 詳見規格書 |
| 包裝： | 詳見規格書 |
“供應氣體質量流量感測器FS1015系列”詳細介紹
一、氣體質量流量感測器-FS1015系列主要特性：
1）感測器靈敏度高，有極小的始動流量
2）感測器晶片採用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了感測器的高精度計量
3）在單個晶片上集成了多個感測器，使感測器的量程比大大提高
4）感測器的零點穩定度高
5）全量程高穩定性
6）全量程高精確度和優良的重複性
7）低功耗 ＜100 mW
8）低壓損 ＜1300 Pa
9）響應時間快 8 msec
二、氣體質量流量感測器-FS1015系列典型應用：
適用於電氣體質量流量的測量。
1）感測器靈敏度高，有極小的始動流量
2）感測器晶片採用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了感測器的高精度計量
3）在單個晶片上集成了多個感測器，使感測器的量程比大大提高
4）感測器的零點穩定度高
5）全量程高穩定性
6）全量程高精確度和優良的重複性
7）低功耗 ＜100 mW
8）低壓損 ＜1300 Pa
9）響應時間快 8 msec
二、氣體質量流量感測器-FS1015系列典型應用：
適用於電氣體質量流量的測量。
技術參數：
| 產品 |
FS1015CL |
單位 |
| 流量範圍 |
0~100 / 0~150 |
SLPM |
| 量程比 |
100：1 |
|
| 精度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
| 重複性 |
0.25 |
% |
| 零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
| 輸出飄移 |
±0.12 |
%/ ℃ |
| 響應時間 |
8 |
ms |
| 工作電壓 |
5±1% |
Vdc |
| 輸出方式 |
線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc |
|
| 最大流量壓損 |
1300 |
Pa |
| 工作壓力 |
0.2 |
MPa |
| 工作溫度 |
-10~+55 |
℃ |
| 儲存溫度 |
-20~+65 |
℃ |
| 工作溼度 |
<95%RH(無結冰、無凝露) |
|
| 電氣介面 |
5針插座，AMP 103956-4 |
|
| 機械介面 |
-15mm |
|
| 校準方式 |
空氣，20℃，101.325kPa |
|
| 重量 |
21.5 |
g |
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