NITTO DENKO日東電工DSA840II半自動研磨貼膜保護設備
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產品詳情
“NITTO DENKO日東電工DSA840II半自動研磨貼膜保護設備”參數說明
| 是否有現貨： | 否 | 認證： | 有 |
| 品牌： | Nitto | 自動化程度： | 半自動 |
| 是否加工定製： | 是 | 電流： | 交流 |
| 型號： | DSA840II | 規格： | 半自動 |
| 商標： | nitto | 包裝： | 標準 |
“NITTO DENKO日東電工DSA840II半自動研磨貼膜保護設備”詳細介紹
一、設備總體描述：
1.該貼膜機是在晶圓正面貼覆保護膠帶，在研削減薄過程中防止正面器件的劃 傷。可用於4”、5”、6”、8”晶圓貼膜。
2.採用切割刀片，刀片部位有加熱功能，切膜裝置保證穩定高性能切割效果。
3.設備設計符合CE 標誌/SEMI S2/S8 標準。
二、設備一般指標
1.機器尺寸：880mm(W) X 750mm(D) X 660mm(H)
2.機器重量：220kg
3.適用晶圓尺寸：4”、5”、6”、8”
4.適用晶圓厚度：SEMI標準
5.晶圓固定方式：真空吸附
6.工作臺加熱： 60℃，設備前方有單獨操作顯示屏，可對溫度控制並顯示
7.工作臺材質：鋁製，表面 防靜電塗層
8.刀片加熱： 170℃
9.膠帶類型：UV和非UV
10.廢膠帶回收功能：有，自動
11.離型膜回收功能：有，自動
12.貼膜速度：50秒/片
13.定位精度：±0.3mm
14.操作面板：3.8寸觸摸屏，操作界面英文，工藝參數可編程及存儲
15.操作方式：自動拉膜、貼膜、切膜、卷離型膜、回收廢膠帶，手動上下片。
15.工藝監控：設備有顯示屏可表徵刀片溫度，工作臺溫度，空氣壓力等
16.靜電控制：整個貼片過程設計靜電防護，膠膜滾輪等與產品關聯的部位採用 防靜電材料，安裝基恩士除靜電離子風扇，控制機內和貼片工作 過程的靜電水準<100V。
17. 保護： 設備符合CE 標誌 /SEMI S2/S8 標準。具有EMO緊急按 鈕，門未關閉報 ，溫度異常報 ，膠膜使用壽命到報 ，廢膠帶滿載報 功能。
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