MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 是生長高質量半導體薄膜材料的 技術，在LED 、半導體 射器、太陽能電池等多個領域都有應用。現有MOCVD 設備 的成本非常高，且完全依賴進口，進行MOCVD 設備研究對國內半導體產業、新能源 領域以及國防 技術的發展都很有必要。 MOCVD 設備可以分爲核心的腔體反應室、加熱器、冷卻系統、氣體輸運系統以 及整體控制系統。本文重點研究了氣體輸運系統的設計，包括結構組成和部分控制難 點，並對該系統今後的發展陳述了自己的觀點。 氣體輸運系統的作用是把包括載氣和源氣在內的所有氣體輸送至腔體參與反應， 並把反應後的氣體輸送至排氣管路進行尾氣處理。氣體輸運包括源供給系統， 反應室內多餘的氣體帶入尾氣處理系統。由於腔體內管路很複雜，而且避免MO 源的壁面沉積) 對氣體流經的關鍵管路持續吹掃。基於 考慮，設備需 要定期進行泄漏檢查。 由於MOCVD 系統中所採用的大多數源均易燃易爆，雨其中的 化物源又有劇毒，因此，必須對反應過後的尾氣進行處理。通常採用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒 Veeco K465i外延設備濾芯 產品說明： 該產品系我司針對Veeco K465i設備設計生產的濾芯，安裝於真空泵前，用於濾除混合氣體中的粉塵和顆粒； 2只/組（粗濾、細濾） 組成材料： 1、濾材： 耐高溫玻纖濾料 2、支撐材料：雙面304#不鏽鋼金屬網 3、骨架：304#不鏽鋼菱形網 4、密封墊圈：矽發泡橡膠墊片 5、密封膠：矽橡膠 規格： 1、端蓋：φ360*φ225， 304# 不鏽鋼 2、耐高溫密封墊：φ340*φ265*T5 3、折數：一級（100μm） :118 折 , 折高 65mm; 二級（ 25μm ） :88 折，折高 65mm 過濾效率： 1、粗濾：100μm=90% 2、細濾：25μm=99.95% 3、透氣量：1000L/Sec/㎡ 產品特性： 1、採用兩級過濾工藝，分級過濾雜質、有效去除不同大小的顆粒雜質。 2、波紋工藝，有效過濾面積增加，容污能力強，使用週期長。 3、濾料採用玻纖濾料，具耐高溫、耐腐蝕，長期使用溫度可達250度以上。 4、專用的高精度過濾材料，空隙均勻，過濾精度高，有效保護設備。