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BROOKS 9861 系列流量控制器和儀表 儀錶

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BROOKS 9861 系列流量控制器和儀表 儀錶

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“BROOKS 9861 系列流量控制器和儀表 儀錶”參數說明

型號: 9861 系列 規格: 其他
包裝: 原裝

“BROOKS 9861 系列流量控制器和儀表 儀錶”詳細介紹

布魯克斯儀器創始於1946年。總部位於美國賓夕法尼亞州。布魯克斯儀器在全球工業儀錶行業中位列首

 

位。2008年,曾作爲全球500強及工業控制排名全球*的艾默生(Emerson)集團創始公司之一的布魯

 

克斯儀器從艾默生公司中獨立出來。公司現在全球超過15個國家和地區擁有分支機構和辦事處。我們研

 

制、生產並銷售高性能的流量儀表儀器,廣泛應用於醫藥、採煉油、化工、醫療、分析儀器、半導體制

 

造等等行業,以滿足這些行業日益增長的對工業儀表 儀錶的精益求精的需求。我們通過對顧客需求的獨到見

 

解,在全球業務網路中爲客戶提供便捷迅速的解決方案及集成應用。布魯克斯的成就來源於我們在行業

 

中逾60年的領導地位。

 

 

BROOKS  9861 系列高溫質量流量控制器和儀表 儀錶

提升高溫流量控制的準確性和效率

型號 9861

布魯克斯儀器 9861 系列高溫熱質量流量控制器和儀表 儀錶專爲在高溫相關苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設計,該產品採用高純度、無泄漏一體化金屬流路,可確保相容所有過程氣體和蒸汽。獲得專利的 IsoSensor? 是一種穩定性極高的流量感測器,可相容加熱氣體管線和烘乾系統中苛刻的環境溫度。IsoSensor? 感測器的超低漂移性能可使高溫應用無需頻繁重新調零和重新校準。

特點

  • 超穩定的 IsoSensor? 流量測量專利感測器
  • 高純度流路
  • 遠程控制電子元件(標配兩個模擬電子連接器)
  • 數位測量和控制架構

優勢

  • 感測器穩定性高,可保障超長運行時間、減少維護工作並降低總體擁有成本
  • 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
  • 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器,可實現標準化並減少庫存
  • 強化準確性和過程控制

應用

  • 光纖製造 - MCVD
  • 矽材料半導體器件加工工藝
 

9861

流量範圍-滿量程容量

3 sccm - 10 slm (N2 equivalent)

表面拋光

4µ inch Ra

精度

±1% SP @ 35 - **** FS

±0.35% FS @ <35% FS

重複性

< ±0.15% FS

響應時間-常閉

≤ 1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

 

模擬通訊

0-5 Vdc

數位通訊

RS485L Protocol

產品類型

Mass Flow Controller

區別

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

性能

流量範圍-滿量程容量

10 slm (N2 equivalent)

精度

1% of SP@ 35 - **** FS

0.35% of FS @ <35% FS

重複性

<±0.15% FS

線性

±0.5% FS (included in accuracy)

響應時間-常閉

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

零點穩定性

<±0.5% FS per °C

機械

密封材料

Metal

純淨等級

4 μ inch Ra

接液材料

316L SS/ KM-45/ 304 SS/ MO+

閥門

Normally Closed

Meter (no valve)

等級

**溫度

150oC

壓差範圍

1.33 - 350 kPa (10 torr - 50 psia)

*Contact Brooks Technical Support for more information.

**壓力

620 kPa (90 psi)

漏率

1x10-10 atm cc/sec He

電氣

 

診斷能力

模擬通訊

0-5 Vdc

數位通訊

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

電氣連接

Analog via 9- or 15-Pin "D" connector & 20 Pin Card Edge connector

電源-功耗

Controller (Analog & RS-485L): 5 Watts max @ ±15 Vdc (160 mA max)

Meter (Analog): 5 Watts max @ ±15 Vdc (50 mA max)

 

5861E質量流量計

5863E質量流量計

5853E質量流量控制器

5851E質量流量控制器

5850E質量流量控制器

5851EM質量流量控制器

5850EM質量流量控制器

5965質量流量控制器

5964質量流量控制器

4860質量流量計

4850質量流量控制器

5863S質量流量計

5861S質量流量計

5860S質量流量計

5853S質量流量控制器

5851S質量流量控制器

5850S質量流量控制器

5850i質量流量控制器

SLA7860質量流量計

SLA7850質量流量控制器

SLA7960質量流量計

SLA7950質量流量控制器

B950質量流量控制器

SLAMF63質量流量計

SLAMF61質量流量計

SLAMF60質量流量計

SLAMF53質量流量控制器

SLAMF51質量流量控制器

SLAMF50質量流量控制器

SLA5863質量流量計

SLA5861流量計

SLA5860流量計

SLA5853質量流量控制器

SLA5851流量控制器

SLA5850質量流量控制器

5860E質量流量計

Brooks_質量流量控制器用資料線

0254_質量流量控制器用電源

5881/5891/5882/5892液體質量流量控制器

奧利質量流量計

QMB_QUANTIM克利奧裏精度質量流量控制器/計

SLA7840質量流量控制器

SLA5840質量流量控制器/計

5866RT壓力控制器/流量計

5866M壓力式質量流量控制器

5866E壓力式質量流量控制器

SLA5820壓力式質量流量控制器

SLA5810壓力式質量流量控制器

SLA7820壓力式質量流量控制器

SLA7810壓力式質量流量控制器

0550E質量流量控制器

MF63X_IP66質量流量計

MF61X_IP66質量流量計

MF60X_IP66質量流量計

MF63i_IP66質量流量計

MF61i_IP66質量流量計

MF60i_IP66質量流量計

MF53X_IP66質量流量控制器

MF51X_IP66質量流量控制器

MF50X質量流量控制器

MF53i質量流量控制器

MF51i_IP66質量流量控制器

MF50iIP66質量流量控制器(30C31L)

MF53S質量流量控制器(12L253L)

MF51S質量流量控制器(11L12L)

MF50S質量流量控制器(30C31L)

MF50S/51S/53S/60S/61S/63S/64S_質量流量控制器/計

MF63S質量流量計

MF61S質量流量計

MF60S質量流量控制器

5863i質量流量計

5861i質量流量計

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