PTL-S系列等離子系統是小型真空等離子設備，主要根據不同的應用領域可提供不同頻率、不同腔體大小、不同電極結構的系統配置。用於科研實驗、教學演示、產品測試、小批量生產等領域，適合於大學實驗室、科研院所、企業研發部門等。體積緊湊，功能配置齊全。PTL-S系列等離子系統主要應用於以下領域： · 生物技術· 電子技術· 精密工程· 研究和開發· 半導體技術· 小批量生產 · 塑料技術· 醫療技術· 微系統技術· 太陽能電池技術 · 紡織技術 基本設備 腔室容積：2L、5L、10L、20L可選 供電電源： 220 V 發生器 頻率： 40 kHz: 功率 0 - 1000 W； 13.56 MHz: 0 - 600 W 所有發生器均爲 0 - 無級可調型 真空腔室 · 圓形不鏽鋼腔體 · 矩形鋁合金腔體 · 圓形石英玻璃腔體 工藝氣源 質量流量控制器 或針閥流量計 兩路或三路工藝氣體 內置承載件 產品托盤、石英玻璃舟皿、氧化鋁板、石英玻璃隔板 電極 單層或多層 內置或外置型 感性或容性耦合電極 控制系統 PLC+人機界面 壓力測量控制 採用PID壓力控制系統 真空泵 按需配置