高純石英在線加熱器 自動恆溫 節能加熱器
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產品詳情
“高純石英在線加熱器 自動恆溫 節能加熱器”參數說明
是否有現貨: | 否 | 傳熱面的形狀: | 管式 |
種類: | 間接加熱設備 | 型號: | Krt-h-zsd-3p208-4.5k |
規格: | 470mm*190mm*200mm | 商標: | 庫銳特 |
包裝: | 可根據客戶要求的尺寸制定 | 專利分類: | 其他 |
專利號: | 其他 | 產量: | 2000 |
“高純石英在線加熱器 自動恆溫 節能加熱器”詳細介紹
單罐石英在線加熱器
產品介紹:
單罐石英在線加熱器是採用高品質鹵素發熱體組件及高純度美國石英料加工組合而成的。 它專爲處理與石英相容的化學品而設計,可確保性能和可靠性。半導體高純在線加熱器,體積小且熱效率高,是一款可以自動恆溫、省電的加熱器。具有乾燒保護功能,配有標準 PT100 溫度感測器(可根據需要配置 K、J 或其他溫度感測器)和可選的泄漏檢測感測器,以增強性能。
主要應用:
單罐石英在線加熱器具備自動恆溫控制、節能增強功能(如乾燒保護和泄漏檢測),使其非常適合晶圓加工的這些關鍵步驟,其中維持特定溫度範圍對晶圓的質量和一致性至關重要。
1. 晶圓清洗 - 在需要精確溫度控制的清洗階段,以去除污染物而不損傷晶圓。
2. 化學劑和溶劑加熱 - 在化學處理步驟中,如蝕刻和顯影過程,需要精確控制化學品的溫度。
3. 光刻膠烘焙 - 在光刻過程中,需要烘焙晶圓以固化光刻膠層,其精確溫度控制對保持圖案完整性至關重要。
4. 蝕刻和顯影之後處理 - 用於蝕刻後清洗和顯影之後階段的加熱,確保去除殘留物。
5. 快速熱處理(RTP) - 在RTP步驟中提供快速均勻加熱,這些步驟要求精確的溫度控制,以修改矽晶圓的物理特性。
6. 溼熱氧化 - 在需要控制加熱溶液進行晶圓熱氧化的過程中。
此外,單罐石英在線加熱器也廣泛應用於其他行業,包括醫療、製藥、化學實驗室
基礎資訊
產品名稱 | 半導體高純石英在線加熱器 |
加熱元件 | 鹵素燈管 |
與藥液接觸材質 | 高純美國石英料,介面爲高純PFA轉接件 |
外觀板材質 | 阻燃PVC板 |
性能參數 | 電壓 200-380V 50/60Hz 單項/三項 |
溫度範圍 | 25-180℃ |
進出介面 | 3/4'入珠 |
選型表
型號 Model |
電壓 Voltage |
功率 Power |
額定典電流 Rated Current |
外觀尺寸 Exterior Dimensions |
KRT-H-ZSD-3P208-4.5K-A |
200-208V(AC 3φ)50/60 HZ |
4.5kw |
12-12.5A |
(L)470mm*(W)190mm*(H)200mm |
KRT-H-ZSD-1P220-4.5K-A |
200-240V(AC 1φ)50/60 HZ |
4.5kw |
17.2-18.8A |
(L)470mm*(W)190mm*(H)200mm |
KRT-H-ZSD-1P208-6.0K-A |
200-240V(AC 1φ)50/60 HZ |
6.0kw |
25-30A |
(L)485mm*(W)200mm*(H)210mm |
KRT-H-ZSD-3P280-6.0K-A |
200-208V(AC 3φ)50/60 HZ |
6.0kw |
16-16.7A |
(L)485mm*(W)200mm*(H)210mm |
KRT-H-ZSD-3P380-6.0K-A |
380-400V(AC 3φ)50/60 HZ |
6.0kw |
8.2-8.7A |
(L)485mm*(W)200mm*(H)210mm |
KRT-H-ZSD-3P208-9.0K-A |
200-208V(AC 3φ)50/60 HZ |
9.0kw |
24-24.9A |
(L)590mm*(W)200mm*(H)210mm |
KRT-H-ZSD-3P380-9.0K-A |
380-400V(AC 3φ)50/60 HZ |
9.0kw |
12.4-13A |
(L)590mm*(W)200mm*(H)210mm |
產品優勢
1: 潔淨,採用間接加熱的方式
2: 純度高,罐體採用美國高純石英材料
3: 耐腐蝕、所有接觸藥液材料爲PFA管路/高純度石英罐
4: 緊湊、直接安裝在管道上滿足小的安裝位置
5: 箱體材料採用品牌FM防火認證PVC材料。
6.加熱性能加熱能力(4.5KW爲例),藥水容積爲50L
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