本套制氮系統是由壓縮空氣裝置、壓縮空氣淨化裝置、變壓吸附制氮裝置等設備組成。          

一、 壓縮空氣系統          

壓縮空氣系統由螺桿式壓縮機和空氣緩衝罐組成，提供變壓吸附制氮裝置所需的氣源。該系統提供穩定的輸出壓力和足夠的氣量。空壓機選用運轉可靠，維護簡單，低噪音，無基礎運轉的螺桿式空壓機。空氣緩衝罐主要是作爲氣源的緩衝器，起穩定和儲存作用，此外還可以收集和排除進入壓縮空氣源的大部分油水冷凝液。緩衝罐裝有壓力錶， 閥，排污口。          

空壓機的排氣能力稍大於制氮機額定產量下的空氣耗量，由於其啓停受到排氣壓力控制，當排氣量大於耗氣量時，排出壓力上升，空壓機停止；反之則空壓機啓動。通過如此迴圈啓停，使空壓機排氣量適合製氮機耗氣量要求，並適應生產線在變工況時（低於額定產量）的運行需要。         

二、 空氣淨化系統          

從緩衝罐出來的壓縮空氣首先進入C級過濾器實現粗過濾，然後進入冷凍式乾燥機，將壓縮空氣強制降溫，使空氣中的水蒸汽冷凝，凝結成的液態水夾帶塵、油排出機外。冷幹機**放置於壓縮機房。工藝流程採用冷凍乾燥機除油水，基於三點原因：   

1、 後級T級送氣管路過濾器進氣口 液體負載：2000ppm  w/w ＜－12℃，不採用冷凍乾燥機，T級送氣管路過濾器易失效；         

2、      冬季室外氣溫較低，壓縮空氣溫度降低後析出水分，堵塞管路系統，管路系統需傾斜並作排液；          

3、        管路系統析出水份後易腐蝕生鏽。          

冷乾燥機的後精密度過濾器組，精密過濾器組由二級過濾器組成。分別是T級主管路過濾器與A級 除油霧過濾器。T級主管路過濾器精密度爲1um，濾除1um和 的固態與液態顆粒，殘留油份含量1ppm  w/w。A級 除油霧過濾器過濾精度0.01um濾除0.01um和 的固態與液態顆粒，99.999+%油霧；殘留油份含量0.001ppm  w/w。壓縮空氣品質達到ISO8573.1質量等級１級。          

三、 變壓吸附制氮系統          

PSA碳分子篩制氮裝置中有兩個裝滿碳分子篩的吸附塔，潔淨、乾燥的壓縮空氣進入變壓吸附制氮裝置，流經裝填有碳分子篩（CMS）的吸附塔。壓縮空氣由下至**經吸附塔，利用分子篩在不同壓力下對氮和氧等的吸附力不同，氧氣、水、二氧化碳等組份在碳分子篩表面吸附，未被吸附的氮氣在出口處被收集成爲產品氣，由吸附塔上端流出，進入緩衝罐。經一段時間後，吸附塔中被碳分子篩吸附的氧達到飽和，需進行再生。          

再生是通過停止吸附步驟，降低吸附塔的壓力來實現的。已完成吸附的吸附塔短期均壓後開始降壓，脫除已吸附的氧氣、水、二氧化碳等組份，完成再生過程。