加工定製：	否	品牌：	MKS
型號：	1559A	類型：	質量流量計
測量範圍：	0-200slm	精度等級：	±1%?
公稱通徑：	10	適用介質：	任何氣體
工作壓力：	0-15	工作溫度：	0-50
規格：	質量流量控制器

    MKS 1559A系列多用途大流量質量流量控制器是應用於多用途的大流量流量控制，涵蓋了從20SLM到200SLM的量程。和其他流量控制器相比，1559A獨特的控制閥門消除了運行中的振動和提供了 的響應時間。通過平衡力閥門的設計可以自動中和在控制閥門內產生的管線壓 力所導致的不平衡。 <o:p>

快速的啓動，快速的響應時間和1%的測量精度（氮氣），這些特點在減少設備的停頓時間和保證正確的氣體流量到工藝腔體內都是很重要的。  <o:p>

MKS 1559A有傑出的RFI（射頻干擾）保護能力，在閥門控制信號小於全量程的0.2%時有一個噪音的 防護，MKS同樣提供了一個可全面相容的、獨立的電源/讀數單元，包括246C、247D和647C。 <o:p>

MKS 558只是顯示流量的流量計，558可輸出0-5VDC的線性信號，涵蓋了和1559A相同的量程。同樣，閥門的可用型號就是154A（1559A的閥門部分）。  <o:p>

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產品特點：  <o:p>

用於大流量應用的從20SLM到200SLM的全量程  <o:p>

平衡力閥門設計將由於管路壓力的波動所導致的振動降到  <o:p>

小於30分鐘的快速啓動時間將寶貴的生產停頓時間降到  <o:p>

小於2秒的響應時間可以快速達到所需要的設定值 <o:p>

可接受外部壓力信號的輸入（0-10VDC）來進行壓力控制 <o:p>

可提供用於大流量監控的流量計（型號558MFM） <o:p>

1年質量保證確保了產品質量和客戶的滿意度 <o:p>

符合歐洲CE認證標誌 <o:p>

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技術參數：  <o:p>

全量程範圍： 20slm 到 200slm <o:p>

入口壓力：100Psig <o:p>

控制量程： 1% 到   的全量程<o:p>

測量精度：全量程的±1% <o:p>

重複性：全量程的±0.2% <o:p>

解析度：全量程的0.1% <o:p>

熱機時間：小於30分鍾<o:p>

流量計的響應時間：500毫秒<o:p>

響應時間：小於2秒  <o:p>

電源要求：±15VDC（±5%）,350ma <o:p>

模擬輸出：0-5 VDC,線性輸出 <o:p>

電氣通訊方式：模擬15針“D”型 <o:p>

材質：316L不鏽鋼  泄露率：小於1*10ˉ9 scc/sec He <o:p>

接頭法蘭：8 VCR Male，8 VCO Male,1/2 卡套  <o:p>

電氣認證：符合歐洲CE認證