產品簡介

中圖儀器SuperVieW3D表面粗糙度輪廓檢測儀基於白光干涉原理，用於對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

它是以白光干涉技術爲原理、結合精密Z向掃描模組、3D 建模演算法等對器件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D圖像，通過系統軟體對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

 

產品功能

(1)設備提供表徵微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等 模組的數據處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等 分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

 

應用領域

3D表面粗糙度輪廓檢測儀對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特徵進行測量和分析。

應用範例：

 

性能特色

1、高精度、高重複性

1）採用光學干涉技術、精密Z向掃描模組和3D重建演算法組成測量系統，保證測量精度高；

2）隔振系統，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，獲得高測量重複性；

2、環境噪聲檢測功能

具備的環境噪聲檢測模組能夠定量評估出外界環境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調試、日常監測、故障排查中能夠提供定量的環境噪聲資料作爲支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟體ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子感測器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態，最大限度的保護儀器，降低人爲操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。

 

SuperVieW3D表面粗糙度輪廓檢測儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航太、科研院所等領域中。針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描範圍的需求，中圖儀器SuperView W1的複合型EPSI重建演算法，解決了傳統相移法PSI掃描範圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模組下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。

 

部分技術指標

型號		W1
光源		白光LED
影像系統		1024×1024
干涉物鏡		標配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100×
光學ZOOM		標配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1×
物鏡塔臺		標配：3孔手動 選配：5孔電動
XY位移平臺	尺寸	320×200㎜
	移動範圍	140×100㎜
	負載	10kg
	控制方式	電動
Z軸聚焦	行程	100㎜
	控制方式	電動
Z向掃描範圍		10 ㎜
主機尺寸（長×寬×高）		700×606×920㎜

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

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