靶材ZnO 科研實驗材料 磁控濺射靶
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產品詳情
“ 靶材ZnO 科研實驗材料 磁控濺射靶”參數說明
是否有現貨: | 是 | 加工定製: | 是 |
種類: | 其他 | 特性: | 氧化物 |
用途: | PVD磁控濺射靶材 | 型號: | ZnO-01 |
規格: | 圓、片、塊、綁定 | 商標: | Szzzna |
包裝: | 真空包裝 | 產量: | 10000 |
“ 靶材ZnO 科研實驗材料 磁控濺射靶”詳細介紹
(ZnO)靶材
(ZnO)靶材作爲一種高性能的磁控濺射靶材材料,在科學研究和工業應用中佔據着重要地位。 是一種白色粉末,屬於二元金屬氧化物,具有顯著的化學穩定性和多功能性質。以下是對 靶材的基本介紹、物理性能及其在行業中的應用優勢的詳細闡述。我司深耕靶材領域十年,專注技術研發與生產,鑄就行業精品。公司生產氧化物靶材材料如下:
OXIDES 氧化物 |
|
Aluminum Oxide (Al2O3) |
Magnesium Oxide (MgO) |
Antimony Oxide (Sb2O3) |
Zirconium-Magnesium Oxide(ZrMgO3) |
Barium Titanate (BaTiO3) |
Magnesium-Zirconium Oxide (MgZrO3) |
Bismuth Oxide (Bi2O3) |
Molybdenum Oxide (MoO3) |
Bismuth Titanate (Bi2Ti4O11) |
Nickel-Chrome Oxide (CrNiO4) |
Cerium Oxide (CeO2) |
Nickel-Cobalt Oxide(NiCoO2) |
Cobalt-Chrome Oxide (CoCr2O4) |
Niobium Pentoxide (Nb2O5) |
Chromium Oxide (Cr2O3) |
Rare Earth Garnets A3B2(SiO4)3 |
Chromium Oxide (Eu doped) |
Rare Earth Oxides (La2O3) |
Gallium Oxide (Ga2O3) |
Silicon Dioxide (SiO2) |
Germanium Oxide (GeO3) |
Silicon Monoxide (SiO) |
Hafnium Oxide (HfO2) |
Tantalum Pentoxide (Ta2O5) |
Indium Oxide (In2O3) |
Tin Oxide (SnO2) |
Indium-Tin Oxide (ITO) |
Titanium Dioxide (TiO2) |
Iron Oxide (Fe2O3) |
Tungsten Oxide (WO3) |
Lanthanum Oxide(La2O3) |
Yttrium Oxide (Y2O3) |
Lead Titanate(PbTiO3) |
Yttrium-Aluminum Oxide (Y3Al5O12) |
Lead Zirconate (ZrPbO3) |
Zinc Oxide (ZnO) |
Lithium Niobate (LiNbO3) |
Zinc Oxide/Aluminum Oxide (Al2O3) |
Lithium-Cobalt Oxide (CoLiO2) |
Zirconium Oxide (ZrO2) |
1、 靶材以其高純度和化學穩定性著稱,能夠在極端環境下保持化學組成不變,這是高質量薄膜製備的基礎。通常, 靶材的純度要求高,例如99.99%或 ,因爲雜質的存在會影響 終薄膜的電學和光學性質。高純度原料的選用是保證 終靶材質量的首要步驟。
2、在物理性能方面, 靶材的密度約爲5.6g/cm3,熔點高達1975°C,沸點爲2360°C。其分子式爲OZn,分子量爲81.408,具有獨特的理化性質。 是一種難溶於水的物質,但可以溶於酸和強鹼,表現出兩性氧化物的特性。在空氣中, 會吸收二氧化碳和水,生成碳酸鋅而呈現黃色,加熱時變黃,冷卻後又恢復白色。
3、 靶材之所以能在磁控濺射技術中得到廣泛應用,主要得益於其優良的物理特性。首先, 靶材具有良好的晶格結構穩定性,這保證了在濺射或蒸發過程中能夠穩定地提供原子。其次,較高的熱導率使得 在熱處理過程中能夠有效地分散熱量,減少熱應力,這對於保持靶材結構的完整性至關重要。再者, 作爲n型半導體,具有寬頻隙和高電子遷移率,使其在製造半導體器件中具有顯著優勢。此外, 還展現出獨特的透明導電性,能同時傳遞光線和電流,這一特性使其在液晶顯示器和太陽能電池領域具有重要應用。
4、在磁控濺射過程中, 靶材能夠提供均勻的材料源,確保在基底上形成的薄膜具有優異的質量和一致性。選擇 作爲靶材,主要是基於它的獨特化學穩定性和優良的物理特性,這些特性使得它在製造過程中能夠承受高能量的沉積環境,同時保持其化學純度和結構完整性。
5、 靶材在多個行業中具有廣泛的應用優勢。在光學顯示技術領域, 靶材用於製造透明導電膜,提高液晶顯示器(LCD)和有機發光二極管(OLED)螢幕的清晰度和響應速度。在LED照明技術中, 靶材因其優異的光學特性得到廣泛應用,特別是在提高光效和色溫調節方面。在光伏材料領域, 靶材作爲半導體材料使用,增強了太陽能電池的光吸收能力和轉換效率。此外, 靶材還被用於製造氣體感測器和生物感測器,在環境監測和醫療健康領域顯示出潛力。
6、在製造過程中, 靶材需要經過多個關鍵步驟,包括原料的預處理、粉末的合成、粉末成型、燒結以及退火處理等。這些步驟對於獲得高質量、高性能的靶材至關重要。特別是燒結過程,需要在高溫下進行,以增強靶材的結構密實度和機械強度。同時,燒結溫度和時間的精確控制對 終產品的質量至關重要。
總的來說, 靶材以其高純度、高化學穩定性、優良的物理特性以及廣泛的應用優勢,在磁控濺射技術中發揮着重要作用。隨着科學技術的不斷進步和工業應用的不斷拓展, 靶材的應用前景廣闊。
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