TFT-LCD無塵車間設計裝修

   TFT-LCD主要的三段製程：
     首先是前段Array
     前段部分的Array 製程和半導體製程相似，但是不同的是將薄膜電晶體製作在玻璃之上，而不是矽晶圓上面。
     然後是中段Cell
     中段部分的Cell ，是以前段的Array玻璃作爲基板，和彩色的濾光片玻璃基板相結合，並且在兩片玻璃基板之間灌入液晶(LC)。
      後是後段Module Assembly (模組組裝)
     後段模組的組裝製程則是將Cell製程之後的玻璃和其他的如電路、外框、背光板等等多種零組件組裝生產的作業。

TFT-LCD：三明治一樣的構造
     液晶顯示屏的構造就如同三明治一樣，將液晶夾雜在兩片玻璃基板之間，這兩片玻璃基板呢，就是TFT Array玻璃和彩色的濾光片。 在TFT Array玻璃的上面有着無數的畫素(pixel)排列着，而彩色的濾光片則是畫面顏色的重要來源，液晶呢便夾雜在TFT Array以及彩色的濾光片之間。 當電壓在TFT(電晶體)的時候，液晶轉向，那麼光線便穿過了液晶在面板上面產生了一個畫素，而此光源呢，則是由背光模組所負責提供的。此時，彩色的濾光片給予了每一個畫素特定的一個顏色。結合了每一個不同顏色的畫素 後所呈現出的，就是面板前端的影像了。

 GB 50472-2008 《電子工業潔淨廠房設計規範》
  GB 51136-2015 《薄膜電晶體液晶顯示器工廠設計規範》
TFT無塵車間
薄膜電晶體液晶顯示器（TFT-LCD）
TFT-LCD工廠設計應滿足生產所需要超大空間潔淨環境的要求。
TFT-LCD 工廠一般由陣列、成盒、彩膜、模組等生產廠房、動力廠房、化學品庫、化學品配送車間、辦公樓等建築組成。生產廠房、辦公樓、動力廠房之間的人流宜採用連廊進行聯繫。
一、 採暖、通風、空氣淨化
A 潔淨室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備，均應設局部排風裝置，排
風罩宜爲密閉式。
B 排風系統的設計，應符合下列要求：
1 pecvd 和幹法刻蝕設備的尾氣應設就地處理裝置；
2 酸、鹼、有毒和有機廢氣應分開設置排風系統，並應設置備用風機和應急電源；
3 陣列、彩膜、成盒廠房一般排風系統應設置備用風機；
4 有冷凝液產生的工藝設備局部排風管宜設置坡度和排液口，且風管系統應採取
防液體滲漏措施；
5 有毒排風系統的風管應採用內塗聚四氟乙烯的不鏽鋼板製作；
6 有毒和有機排風及應採取防火、防爆措施；
7 酸、鹼、有毒和有機排風系統不宜設置防火閥，且不得設置熔片式防火閥；
8 酸、鹼、有毒排風系統的風機應設在廢氣處理設備的下風側，有機排風系統如
採用吸附方式處理廢氣，風機宜設在廢氣處理設備的上風側；
9 有毒排風系統的風管應在適當位置設置透明觀察口，其管內風速不應小於10m/s；
10 工藝設備局部排風系統的室外風管應根據當地氣象條件設置防結露保溫措施；
11 佈置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產區內的排風管道，其管內風速不應大於12m/s；
12 潔淨室的排風系統應設置防止室外氣流倒灌的措施。
 
二、 空氣調節與淨化
A、 淨化空氣調節系統的新風應集中進行熱、溼、淨化處理，新風處理機組的設置
應符合下列規定：
1 送風機應採取變頻措施；
2 空氣應經過粗效、中效、 過濾器三級處理；
3 陣列、彩膜、成盒廠房應設置備用新風處理機組；
4 陣列、彩膜、成盒廠房的電機與風機應採用直聯驅動方式，且有良好的減振措施；
5 新風的吸入口位置，應遠離排放有害物或可燃物的排氣口；
6 加溼方式宜採用溫水淋水室；
7 應有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風率不得大於 1%。
B、 陣列、彩膜、成盒廠房的潔淨室宜採用“新風處理機組+風機過濾器機組+乾冷卻
盤管”的淨化空調系統；模組和背光源廠房的潔淨室宜採用集中式淨化空調系統。
C  陣列、彩膜、成盒廠房的潔淨室寬度超過80m 時，宜在寬度方向佈置不同阻力的
迴風高架地板。
D  風機過濾器機組的設置應符合下列規定：
1 應根據空氣潔淨度等級和送風量選用；
2 宜採用直流調速電機；
3 機組應採取消音措施，消音裝置不得採用產塵材料；
4 潔淨度等級爲 7～９級的潔淨室（區）不宜採用聚四氟乙烯濾料的過濾器；
5 應便於安裝、維修及過濾器 換。
E  空調冷、熱源和水系統的設置應符合下列規定：
1 空調冷媒應採用低溫和中溫冷凍水系統；除新風處理機組的二級冷卻盤管使用
低溫冷凍水外，其餘冷卻盤管宜使用中溫冷凍水；
2 乾冷卻盤管的中溫冷凍水系統宜採用同程式，供水幹管的末端應與回水幹管間
設置旁通管；
3 佈置在吊頂內的乾冷卻盤管的中溫冷凍水系統管道和佈置在下技術夾層及回
風夾道內的乾冷卻盤管的中溫冷凍水系統供水幹管應保溫；

 
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