百級無塵車間淨化工程施工工藝要點：
1）、 土建工程結構完工，複覈結構工程地面水準度、符合要求

2）、 首先對現場進行總體平面劃線放樣，

3）、 安裝詳圖在現場進行實際尺寸的複覈；

4）、 對整個車間，風、水、電、工藝、設備、自控儀表 儀錶等各個專業，及與車間結構相關的安裝進行全方位三維立體系統排布，並充分考慮安裝及今後維護保養；

5）、 裝飾表面應擦拭乾淨，漆面無刮痕、毛刺、膠痕，牆板及吊頂面應牢固、平整、無晃動。

6）、 參照冷庫板的安裝方式，嚴格控製冷橋形成。

7）、 密閉門開啓應輕巧、靈活、可靠，關閉後應保證密封狀態。

8）、 各手動門也應開啓輕巧、靈活、可靠。

9）、 各燈具應能正常開啓，保證潔淨室、潔淨走廊燈光明亮。

10）、 各洗手池安裝排放整齊、美觀，各水龍頭能達到工作狀態，無漏水現象。

11）、 各個應急電源能達到正常工作狀態，動作靈敏、可靠。

12）、 牆面安裝完畢後進行 箱的安裝，然後進行頂板、燈帶安裝、前後門窗安裝；

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13）、 鋼牆體進行工廠化製作加工，板面的平整度縱、橫不得大於0.5mm；

14）、 鋼板牆體的垂直度2m內偏差，不得大於3mm，水準偏差2m內不得大於3mm；

15）、 嚴格控制預製彩鋼板牆的留孔尺寸與現場安裝的尺寸的吻合；

16）、 鋼板頂的吊架間距必須小於2.5m，並採用可調式吊架；

17）、 嚴格焊接的工藝操作，控制焊接質量；

18）、 施工場地用水、電等臨時設施，能滿足施工要求

19）、 現場管理 制定淨化區域施工管理制度，控制人物流造成的區域污染。

20）、 定位放線：依據圖紙給定的尺寸，先彈出各潔淨廊隔牆的龍骨外包線（軸線減隔牆厚減外飾面奪厚），燈具、設備開孔處的尺寸，安裝部門書面提供並協助放線；

21）、 材料進場 潔淨廠房構件應按施工進度計劃要求，運抵安裝現場，輕搬輕放，避免劃傷，並分類整齊堆放，嚴加保管。

22）、 測量放線 嚴格對照施工圖，現場測定軸線，標高尺寸，清理安裝現場，準確放出大樣。壁板安裝前必須嚴格放線，牆角應垂直交接，防止累積誤差造成壁板傾斜扭曲。壁板的垂直度偏差不大於0.2%。

 

23）、 材料檢驗：潔淨室構配件材料安裝前，嚴格檢查其規格性能和完好程度，不合格或已損壞的構配件材料嚴禁安裝。

24）、 結構連接：在施工安裝時，應首先進行吊件、鉚固件等與主體結構和樓面、地面的連接件的固定。

25）、 隱蔽驗收：在安裝的施工過程中必須隨時清掃灰塵，對掩蔽空間的清掃應做好清掃記錄。

26）、 現場清理：安裝現場必須隨時保持清潔，無積塵，並在施工過程中對零部件和場地隨時清掃、擦淨。

27）、 成品保護：加強成品保護教育，對已安裝的成品，或半成品嚴加保護，防止被污染及損壞。嚴格按順序施工，做到銜接合理，避免返工，造成材料浪費、成品受損

28）、 龍骨安裝

① 鋼板的吊頂採用65*30C型鋼作爲吊頂承重的結構；

② 底龍骨用鋼釘與地面連接，龍骨外側應與基線平齊，底龍骨與豎龍骨間用角鋼兩側對夾，豎龍骨與牆體應加設支撐龍骨，同時也通過平爆螺絲與房屋衍接在一起；

③ 牆體連接用自攻螺絲，排列依據圖紙尺寸及鋼板尺寸定；

④ 按施工程式和金屬壁板安裝工藝節點具體要求進行施工。

⑤ 地馬槽與地坪的連接必須牢固，不得鬆動，用射釘間隔1m左右將地馬槽固定在地面上。地馬槽之間的垂直連接處應做好拼縫、角連接或預留出Ｒ球的位置。

⑥ 壁板與壁板連接必須平整無凹凸，縫隙均勻，注膠平整光滑。安裝時用吊線錘控制壁板的垂直度，安裝好的板材做好彼此之間的固定，防止壁板整體傾倒。

⑦ 安裝過程中不得撕下壁板表麪塑料保護膜，禁止撞擊和踩踏板面。

⑧ 壁板上固定密閉窗，窗框四角鋁合金處理合縫、平整，並且在玻璃安裝之後用橡皮條將玻璃壓緊，甚至需將窗戶上部和兩邊橡皮條帶膠壓實，以防震動，橡皮條脫落。

⑨ 過濾器送風口、迴風口，施工現場開孔，注意避免對壁板結構的破壞。

⑩ 根據設計要求，潔淨區內壁板與頂板相接形成的各個陰陽角均採用鋁合金圓弧型材連接。

29）、 鋼板與鋼板之間、鋼板與結構（龍骨）之間都用抽芯鉚釘連接，不得與設備及設備支架、管線支架連接；

30）、 隔牆、吊頂的固定和吊掛件應與主體結構牢固連接，不得與設備及設備支架、管線支架連接；

1 .φ80mm以下工藝管金屬壁板處採用金屬密封套，工藝管由密封套中穿過，確保穿管牢固。

2. 密封膠應平直光滑，不應有間隔、外露、毛邊等現象。

3. 壁板安裝同時要配合好電工，將接地扁鐵與地面很好接觸，以消除靜電現象。

4. 嚴格控制施工過程中冷橋形成，外層聚氨酯板入槽後， 水準和平整後，對縫隙進行聚氨酯現持發泡密封，杜絕冷橋產生。吊頂彩板斷口處，用丁鋁裝飾，面上採用聚氨酯現場發泡密封處理後，根據縫隙大小，酌情加與薄鋼板密封。

●選址原則：無塵車間地址的選擇應符合有利生產、方便生活、節省投資和經營費用的原則。廠址應設在自然環境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利於生產、節能的區域,應遠離大量散發粉塵、煙霧、有害氣體和微生物的區域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,並在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主幹道間距宜50米以上[1] 。

●動線規劃要點：要檢討分析人車路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業的流程等，儘量縮短動線，並避免交叉，以防止交叉污染。作業者、化學藥品、材料等動線勿集中；無塵車間四周 四週，宜設緩衝區；製造裝置的出入，不要對作業產生大影響。

●有些空氣淨化系統的空氣，如經處理仍不能避免交叉污染時，則不能迴圈使用：固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機溶媒精製的原料藥精製、乾燥工序；放射性藥品生產區；病原體操作區；工藝過程中產生大量有害物質、揮發性氣體的生產工序；固體口服製劑的顆料

●節能原則：無塵車間裏存在大量可以節約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統消耗的電力超過了整座晶片製造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因爲在設計和建造工廠時走捷徑，儘可能地壓縮前期投入，而不顧後期運行費用。高效率的設計和高效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中
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