國產薄膜應力測量儀（光電薄膜）
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產品詳情
“國產薄膜應力測量儀（光電薄膜）”參數說明
| 加工方式： | OEM加工 | 生產線數量： | N |
| 日加工能力： | N | 無鉛製造工藝： | 不提供 |
| 免費打樣： | 支持 | 型號： | MA4 |
| 規格： | N | 商標： | 根據實際要求 |
| 包裝： | 根據實際要求 | 晶圓： | 4-6寸 |
“國產薄膜應力測量儀（光電薄膜）”詳細介紹
薄膜應力測量儀-MA400- 射測試法
更多諮詢聯繫：婁經理 13122976482 薄膜測試應力儀 國產應力儀 薄膜測試應力儀
技術規格 參數
基本原理 射曲率法 /基於Stoney公式
主要方法 採用5×5 射點陣對樣品進行掃描測量 635 nm波長/ 5mW
主要功能 自動測量計算曲率半徑和薄膜應力
掃描模式 Mapping面掃模式（主要表徵局部區域的薄膜曲率半徑或應力分佈） L-D線掃模式（快速表徵樣品整體薄膜平均曲率半徑或殘餘應力）
薄膜應力測試範圍 5 MPa~5 GPa
曲率半徑測試範圍 2-200 m
曲率半徑重複精度 ＜1 % （曲率半徑<20 m），＜3 % （曲率半徑 <100 m）
掃描步長 0.1 mm
掃描點數 >1 萬點
樣品尺寸 M100型號：4 英寸 M200型號：8 英寸
樣品尺寸 > 15*15 mm 樣品
樣品基片校正 可數據處理校正原始表面不平影響（對減模式）
電源 110-220 VAC & 200 Watts Maximum
通訊連接埠 USB 3.0
工作溫度 0~50 ?C
操作軟體 可視化2D/3D顯示 視窗界面/適用於Windows 7/Windows 10系統
操作電腦 標配臺式一體機：顯示器>21英寸，8G記憶體，Intel CPU，256G硬碟
外形尺寸 M100型號：～950×400×480 mm M200型號：～1050×500×480 mm
重量 ~40K g 質量保證 一年免費/終身維護 備註 以上所列技術規格與參數更新恕不另行通知，如有疑問請聯繫我們
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