維意真空高低溫真空探針臺基本介紹

高低溫真空腔探針系統主要用於爲被測晶片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境，以便測量分析溫度變化時晶片性能參數的變化。腔體內被測晶片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。

維意真空高低溫真空探針臺性能特點

極低溫測試:

因爲晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓

上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些

需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，並且保持整個測試過程泵

的運轉。

高溫無氧化測試：

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至 溫度時，氧化現象會

越來越明顯，並且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤

差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵

抽走，並且保持整個測試過程泵的運轉。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因爲熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，探針座位於腔體外部，可以在不破壞真空度的同時調整探針達到理想位置進行測量。我們也可以選擇使用操作杆控制的自動化針座來調整探針的位置。

維意真空高低溫真空探針臺技術參數

1、探針平臺：

探針座採用真空室外置結構，通過探針臂與探針實現同步、線性位移；探針座採用鋁製整體式結構，結構緊湊、承載大、精度高、穩定性好等優點，三維調節範圍爲X、Y、Z±20mm，驅動方式爲手動測微頭，驅動位置爲V型導軌+交叉滾珠中心驅動，產品定向性能穩定，採用精密研磨絲桿M3*0.5解析度高，配合做大手輪， 刻度0.01mm，精度0.001mm，直線度單軸0.002mm，重複定位精度±2微米，單軸直線度±2微米，固定方式爲沉孔螺釘固定。自重1.7Kg，負載5Kg。

 

探針夾具採用同軸探針夾具，接BNC公接頭。阻抗，50歐姆；

 

接頭，Coaxial BNC公口；漏電流，10pA；線徑，30AWG；

 

電壓，700V。考慮到在做晶圓測試時是在高溫下測量，所以探針夾具

 

連接處需採用高純陶瓷連接，這樣既可以耐高溫，也可以減少放氣量，

 

有利於高真空獲得和資料的精準性！

 

探針臂採用優質304不鏽鋼光軸，可以有效保證探針的水平準直

 

度和變溫環境下的剛性，減少形變造成的不良影響。

 

探針臂移動真空密封裝置，採用壓縮比達到1:6.5的焊接波紋

 

管，壓縮壽命優於10萬次。保證探針臂行程的同時減少對探針座造

 

成的負擔。

 

2、光學平臺

隔振支撐採用 複合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺杆和帶

附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術，隔振性能良好。自動水準，自

動充氣，全部氣動執行元件採用德國FEST0產品，靜音空氣壓縮機氣

源、噪聲低。

應用範圍：適用於對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成

像、光柵製作等。輕鬆 調節,結構穩定可靠。

檯面爲三層夾心蜂窩狀支撐結構，採用ICR17優質高導磁不鏽鋼

平臺表面粗糙度0.5 0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有頻率1.5 ~2 Hz

振幅小於1 um

重複定位精度±0.10 mm

工作壓力0.2~0.6(Mpa)

3、顯微鏡

1. 鑑別力高，視場範圍大，景深長。
   2、工作距離長至115mm。
   3、左右目鏡屈光度可調正負5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
   4、能隨意調節手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習慣，更可以   

鎖定手輪，方便定倍觀察。
5、本顯微鏡爲連續變倍，變倍比爲6.3：1 ，物鏡變倍範圍

0.8X-5X。

1. 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調節範圍52-75mm。

7、三目體式顯微鏡，可安裝CCD成像系統。

8、 倍率可達200X。

產品優點：

產品造型比較新穎

機械特性優越，操作舒適度高。

光學系統鑑別力達300線對以上，符合國際標準

超長的工作距離位於國內同行 3A設計

創見性人機學設計，產品細節考慮全面。

配CCD採用USB連接電腦，解析度≦2微米，像素≧500萬

3A特性：

密封性-------防塵,防油\防水污染，此種介面密封性設計能 防

塵\防油\防水或其他污染，這就減少了常規的維護,

從而降低了總的費用.

防黴性------使其同樣適用於悶熱或潮溼的環境，此設計保證

了顯微鏡在高溫或是潮溼下都能安然無恙

防靜電------防靜電設計可以釋放顯微鏡內不斷產生的靜電,防止標

本被損壞,保證提高產量和降低產品成本

4、高低溫控制系統

   

控溫系統採用溫控儀表 儀錶配置固態繼電器、熱電偶形成閉環PID控

 

溫和自整定調節，智慧化30段可編程控制，控溫精準可達到±1℃，

 

顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃；

   

加熱器220V供電， 溫度500℃，液氮製冷， 溫度可達

 

到-130℃。

 

5、充氣系統

充氣系統採用採用質量流量計及控制顯示器3路，採用日本原裝

品牌，提供 明，精度1%FS，響應時間優於1sec；

測量氣體：待定 ，量程：待定 ，數量：3路 ，連接尺寸：F6

雙卡套。

真空截止閥3個，連接尺寸：F6雙卡套。

F52mm*L200mm混氣罐1個，接頭4個，連接尺寸：F6雙卡套。

連接管路採用F6無縫BA級316材質不鏽鋼管。

 

6、真空系統

真空獲得設備：抽真空機械泵採用中韓合資型號TRP-36，9L/s

抽速，自帶防返油閥門，KF25介面，KF25排氣口，

配有油霧過濾器。極限真空度優於10Pa。

真空連接管道：配置KF40手動真空擋板閥，波紋管密封，性能  

可靠，外觀大氣，手感好；放氣閥配置KF16手動

放氣閥，體積小巧，性能可靠；所有真空管道採

用不鏽鋼液壓波紋管，具備很好的柔韌度，消除

機械泵震動所帶給探針臺的影響。

真空測量：真空測量採用全金屬KF16電阻規，配合真空計實時顯

示從大氣壓到0.1Pa的真空度，外形美觀，日後維護

成本低。

7、備品配件

    

贈送全套密封件1套，探針10只，探針臂陶瓷連接件2個。

維意真空高低溫真空探針臺使用說明

部位一

真空腔體

  直徑爲8英寸，高度7英寸的304材質真空室

  上蓋帶4英寸石英觀察窗

  下法蘭帶固定端，與光學平臺連接

  1個KF40抽真空排氣口，3個CF16充氣口，1個KF16電阻規介面，1個

KF16放氣口，1個CF35預留介面，1個CF63 BNC真空貫穿介面，1個CF35

冷卻液介面，4個CF63探針臺介面

  系統極限真空優於1Pa

  直徑爲4英寸的紫銅材質樣品臺，平整度5微米

項目二

探針平臺

  探針平臺，密位移方向XYZ三軸，採用交叉滾柱導軌，產品定向性能穩定，

採用精密研磨絲桿M3*0.5解析度高，配合做大手輪，行程：X軸40mm，Y

軸40mm，Z軸40mm，解析度3微米，螺距，M3*0.5，重複定位精度±2微

米，單軸直線度±2微米，固定方式沉孔螺釘固定。

  探針夾具，同軸探針夾具  漏電精度10PA，接BNC公介面，陶瓷結構。

  探針臂，採用304不鏽鋼光軸，保證水準的準直度和剛性。

  探針臂移動真空密封裝置，配置可壓縮50mm的焊接波紋管。 

項目三

真空系統

  配置機械泵，抽速9L/s，不返油設計，冷態極限真空度優於1Pa。

  配置KF40手動擋板閥1個，KF16手動放氣閥1個

  真空測量配置薄膜真空計，安裝1個全金屬KF16電阻規

項目四

光學平臺

  自動平衡精密隔振光學平臺配置氣懸浮自動平衡支架

項目五

顯微鏡

  配CCD採用USB連接電腦，解析度≤2 μm ，像素≥500萬。

項目六

高低溫控制系統

  兩路PID溫度控制，顯示精度1℃，控溫精度±1℃，溫度均勻性±3℃；

高溫部件構成及低溫部件構成；

溫度500℃， 溫度-130℃。

項目七

充氣系統

  3路質量流量計，配置質量流量計；

3路CF16手動充氣針閥。

項目八

備品配件

維意真空高低溫真空探針臺採購須知

5.1 供電要求

5.1.1  設備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

5.1.2  插座距離設備尺寸≤2m；

5.1.3  其他：如用戶選配冷卻迴圈水機或其他選購件，用戶自行準備增配件的供電要求，不在安裝條件範圍內；

5.2供水要求

5.2.1  設備需水冷的部件有磁控靶、膜厚儀探頭（如選配膜厚控制系統）；

5.2.2  水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃；

5.3安裝場地大小要求

      設備尺寸爲：長×寬: L60cm×W60cm，建議安裝場地尺寸≥L60×W80cm。

5.4 其他要求

5.4.1  環境溫度：5～40℃；

5.4.2  環境溼度：＜85%R.H；

5.4.3  室內無大量塵埃，無腐蝕性、易燃易爆氣體；

6.設備 承諾

    尊敬的客戶：

首先感謝您對我們公司產品的信任！

我公司本着“以 合理的價格、 完善的 、提供 優質的產品”的宗旨向您鄭重承諾：

6.1 售後 承諾

   6.1.1  產品質保期爲一年；

      6.1.2 在質保期內供方將免費維修和 換因設備質量原因造成的零部件損壞；

      6.1.3  在質保期外設備零部件的損壞，提供的配件只 費；6.1.4  質保期內或質保期外如設備出現故障，供方接到用戶的正式通知（含 或郵件通知）後，我公司技術人員於48小時內，趕到技術 現場並開始維修。