1. 設備名稱、數量及型號規格

名稱

型號規格

數量

製造商

高低溫真空探針臺

CPPS-ZK-4

1

北京維意真空技術應用有限責任公司

 

 

1. 設備功能及配置要求

               高低溫真空探針臺配置表

真空腔體

   

直徑爲8英寸，高度7英寸的304材質真空室                                     

上蓋帶4英寸石英觀察窗，具備雙層水冷功能 

直徑爲4英寸的樣品臺，平整度5微米

1個KF25抽真空排氣口，1個CF16充氣口，1個KF16電阻規介面，1個KF16放氣口，1個KF40預留介面，1個DN63 BNC真空貫穿介面，2個CF35冷卻液介面，4個DN63探針臺介面,2個CF16電源介面

探針平臺

   

探針平臺，密位移方向XYZ三軸，採用交叉滾柱導軌，產品定向性能穩定，採用精密研

磨絲桿M3*0.5解析度高，配合做大手輪，行程：X軸40mm，Y軸40mm，Z軸40mm，解析度3微米，螺距，M3*0.5，重複定位精度±2微米，單軸直線度±2微米，固定方式沉孔螺釘固定。

探針夾具，  漏電精度100fA，接三同軸介面，陶瓷結構

探針臂，採用304不鏽鋼光軸，保證水準的準直度和剛性

探針臂移動真空密封裝置，配置焊接波紋管

外側需要配備4個1.5m長度三同軸線，接客戶4200系列數位源表

光學平臺

    

自動平衡精密隔振光學平臺配置氣懸浮自動平衡支架                                             

自動平衡支架需要帶圍板，配置空氣壓縮機

顯微鏡

  

配CCD介面和0.4*C-mount介面，採用USB連接電腦，解析度≤1μm ，像素≥500萬。

變焦：0.8倍-5倍

Z軸方向調節範圍≥50.8mm，調節精度優於10μm

工作距離115mm，變倍比1:6.7

自帶軟體，可拍照，錄像

可對圖像進行標註，測量

含10英寸顯示器

高低溫控制系統

  

PID溫度控制，顯示精度0.1℃，控溫精度±1℃，溫度均勻性±3℃

溫度300℃， 溫度-142℃

高溫部件構成及低溫部件構成

50L自增壓液氮罐

液氮輸入管

氣敏測試系統

   

1路CF16手動充氣針閥

可自動化控制，實現氣敏測試功能

真空系統   

 

客戶自備真空泵

配置KF25手動擋板閥1個，KF16手動放氣閥1個

真空測量配置壓阻電阻複合真空計，安裝1個全金屬KF16電阻規

備品配件  

 

密封件1套，5微米針尖探針10支，探針臂陶瓷件1個

 

1. 設備主要技術參數

1. 溫度-142℃， 不低於300℃

2.漏電流不得高於100fA

3.觸控控制單元，實現觸控控制各項參數

4.探針位移精度≤3微米

 

4  設備結構及運行環境要求

運行環境：10-30攝氏度，溼度30%-70%